Habari Mpya: MIIT Yatangaza Mashine za Lithografia za DUV za Ndani zenye Usahihi wa Kufunika wa ≤8nm

Katika miezi ya hivi karibuni, Wizara ya Viwanda na Teknolojia ya Habari (MIIT) ilitoa "Miongozo ya Kukuza na Kutumia Vifaa Vikuu vya Kiufundi (Seti ya Kwanza) (Toleo la 2024)". Hii inafungua njia ya ujanibishaji kamili wa utengenezaji wa chipu zilizokomaa kwa nodi zilizo juu ya 28nm!

Ingawa teknolojia ya 28nm si ya kisasa, ina umuhimu mkubwa kama mstari wa kugawanya kati ya chipu za chini hadi za kati na za kati hadi za juu. Mbali na chipu za hali ya juu za CPU, GPU, na AI, chipu nyingi za kiwango cha viwanda hutegemea teknolojia za 28nm au za juu zaidi.

Kanuni ya Utendaji: Maendeleo katika Lithografia ya Kina ya Mionzi ya Ultraviolet

Mashine za lithografia za KrF (Krypton Fluoride) na ArF (Argon Fluoride) zinaangukia katika kundi la lithografia ya Deep Ultraviolet (DUV). Zote hutumia mawimbi maalum ya mwanga yanayotolewa kupitia mifumo ya macho kwenye safu ya unyumbulifu wa mwanga ya wafer ya silikoni, na kuhamisha mifumo tata ya saketi.

Mashine za Lithografia za KrF: Tumia chanzo cha mwanga cha urefu wa mawimbi ya 248nm, kufikia ubora chini ya 110nm, kinachofaa kwa michakato mbalimbali ya utengenezaji wa saketi jumuishi.

Mashine za Lithografia za ArF: Tumia chanzo cha mwanga cha urefu wa mawimbi ya 193nm, kinachotoa ubora wa juu zaidi kwa teknolojia za mchakato wa chini ya 65nm, na kuwezesha utengenezaji wa saketi laini zaidi.

Umuhimu wa Kiteknolojia: Uboreshaji wa Sekta na Kujitegemea

Ukuzaji wa mashine hizi za lithografia unaashiria hatua muhimu katika kuendeleza utengenezaji wa nusu-semiconductor na kufikia uhuru wa viwanda:

Mafanikio ya Kiufundi: Uundaji uliofanikiwa wa mashine za lithografia za KrF na ArF unaonyesha maendeleo makubwa katika teknolojia ya lithografia ya hali ya juu, na kutoa usaidizi thabiti wa kiufundi kwa utengenezaji wa nusu-semiconductor.

Uboreshaji wa Sekta: Mashine za lithografia zenye usahihi wa hali ya juu huwezesha uzalishaji wa saketi jumuishi ngumu zaidi na zenye utendaji wa hali ya juu, na hivyo kuendesha uvumbuzi katika mnyororo mzima wa thamani wa nusu-semiconductor.

Usalama wa Kiuchumi na Kitaifa: Kwa kupunguza utegemezi wa teknolojia ya kigeni, mashine hizi huimarisha utoshelevu wa sekta ya ndani ya nusu-sekondi, na kuimarisha usalama wa kiuchumi na viwanda.

Kipozeo cha Maji : Ufunguo wa Utendaji wa Mashine ya Lithografia Imara

Udhibiti sahihi wa halijoto ni muhimu kwa kuhakikisha ubora na mavuno ya mchakato wa lithografia. Vipozaji vya maji, kama vipengele muhimu vya mifumo ya kupoeza, vina jukumu muhimu:

Mahitaji ya Kupoeza: Mashine za Lithografia ni nyeti sana kwa mabadiliko ya halijoto wakati wa mfiduo, na hivyo kuhitaji vipozezi vya maji ambavyo hutoa udhibiti sahihi na thabiti wa halijoto.

Kazi za Vipozeo: Kwa kusambaza maji ya kupoeza, vipozeo huondoa joto linalozalishwa wakati wa operesheni kwa ufanisi, kudumisha vifaa vya leza ndani ya kiwango bora cha halijoto na kuhakikisha usahihi na uaminifu katika mchakato wa lithografia.

TEYU Chiller Inatoa Suluhisho za Kitaalamu za Kupoeza kwa Mashine za Lithography

TEYU Vipozaji vya leza vya mfululizo wa CWUP vyenye kasi ya juu vinaweza kutoa udhibiti sahihi na thabiti wa halijoto kwa mashine za lithografia. Mfano wa kipozaji cha CWUP-20ANP hufikia uthabiti wa halijoto wa ±0.08°C, na kutoa upozaji mzuri sana kwa ajili ya utengenezaji wa usahihi.

Katika ulimwengu sahihi wa utengenezaji wa semiconductor, mashine za lithografia ndio vifaa muhimu vya uhamishaji wa mifumo ya microcircuit. Kwa maendeleo ya teknolojia, mashine ya lithografia ya krypton floridi na mashine ya lithografia ya argon floridi zimekuwa nguvu muhimu ya kukuza maendeleo ya tasnia kwa utendaji wao bora.