லேசர் செய்திகள்
2002 முதல் லேசர் அமைப்புகள் மற்றும் தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்கான துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு
மொழி
MIITயின் 2024 வழிகாட்டுதல்கள் 28nm+ சிப் உற்பத்திக்கான முழு-செயல்முறை உள்ளூர்மயமாக்கலை ஊக்குவிக்கிறது, இது ஒரு முக்கியமான தொழில்நுட்ப மைல்கல். முக்கிய முன்னேற்றங்களில் KrF மற்றும் ArF லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள், உயர் துல்லிய சுற்றுகளை செயல்படுத்துதல் மற்றும் தொழில்துறையின் தன்னம்பிக்கையை மேம்படுத்துதல் ஆகியவை அடங்கும். TEYU CWUP நீர் குளிர்விப்பான்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்யும், துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு இந்த செயல்முறைகளுக்கு இன்றியமையாதது.
சமீபத்திய மாதங்களில், தொழில் மற்றும் தகவல் தொழில்நுட்ப அமைச்சகம் (MIIT) "முதல் (தொகுப்பு) முக்கிய தொழில்நுட்ப உபகரணங்களை (2024 பதிப்பு) மேம்படுத்துதல் மற்றும் பயன்படுத்துவதற்கான வழிகாட்டுதல்களை" வெளியிட்டது. இது 28nm க்கு மேல் உள்ள முனைகளுக்கான முதிர்ந்த சிப் உற்பத்தியின் முழு-செயல்முறை உள்ளூர்மயமாக்கலுக்கு வழி வகுக்கிறது!
28nm தொழில்நுட்பம் அதிநவீனமானதாக இல்லாவிட்டாலும், குறைந்த-இறுதி-நடு-இறுதி மற்றும் நடு-உயர்-இறுதி சில்லுகளுக்கு இடையேயான பிளவுக் கோட்டாக இது குறிப்பிடத்தக்க முக்கியத்துவத்தைக் கொண்டுள்ளது. மேம்பட்ட CPUகள், GPUகள் மற்றும் AI சில்லுகள் தவிர, பெரும்பாலான தொழில்துறை தர சில்லுகள் 28nm அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட தொழில்நுட்பங்களை நம்பியுள்ளன.
வேலை செய்யும் கொள்கை: ஆழமான புற ஊதா லித்தோகிராஃபியில் முன்னேற்றங்கள்
KrF (கிரிப்டன் ஃவுளூரைடு) மற்றும் ArF (ஆர்கான் புளோரைடு) லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் ஆழமான புற ஊதா (DUV) லித்தோகிராஃபி வகையின் கீழ் வருகின்றன. இரண்டும் குறிப்பிட்ட ஒளி அலைநீளங்களை ஆப்டிகல் சிஸ்டம்களின் மூலம் சிலிக்கான் வேஃபரின் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் லேயரில் பயன்படுத்தி, சிக்கலான சுற்று வடிவங்களை மாற்றுகிறது.
KrF லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள்: 248nm அலைநீள ஒளி மூலத்தைப் பயன்படுத்தவும், 110nm க்கும் குறைவான தீர்மானங்களை அடையவும், பல்வேறு ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.
ArF லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள்: 193nm அலைநீள ஒளி மூலத்தைப் பயன்படுத்தவும், துணை-65nm செயல்முறை தொழில்நுட்பங்களுக்கு அதிக தெளிவுத்திறனை வழங்குகிறது, இது நுண்ணிய சுற்றுகளை உருவாக்க உதவுகிறது.
தொழில்நுட்ப முக்கியத்துவம்: தொழில் மேம்படுத்தல் மற்றும் சுய-சார்பு
இந்த லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் வளர்ச்சி குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை முன்னேற்றுவதிலும் தொழில்துறை சுயாட்சியை அடைவதிலும் ஒரு முக்கிய மைல்கல்லைக் குறிக்கிறது:
தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்கள்: KrF மற்றும் ArF லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் வெற்றிகரமான உருவாக்கம் உயர்நிலை லித்தோகிராஃபி தொழில்நுட்பத்தில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்தை எடுத்துக்காட்டுகிறது, குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு வலுவான தொழில்நுட்ப ஆதரவை வழங்குகிறது.
தொழில்துறை மேம்படுத்தல்: உயர் துல்லியமான லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் மிகவும் சிக்கலான மற்றும் உயர் செயல்திறன் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தியை செயல்படுத்துகின்றன, முழு குறைக்கடத்தி மதிப்பு சங்கிலி முழுவதும் புதுமைகளை இயக்குகின்றன.
பொருளாதார மற்றும் தேசிய பாதுகாப்பு: வெளிநாட்டு தொழில்நுட்பத்தை சார்ந்திருப்பதை குறைப்பதன் மூலம், இந்த இயந்திரங்கள் உள்நாட்டு குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் தன்னிறைவை பலப்படுத்துகிறது, பொருளாதார மற்றும் தொழில்துறை பாதுகாப்பை மேம்படுத்துகிறது.
வாட்டர் சில்லர் : நிலையான லித்தோகிராபி இயந்திர செயல்திறனுக்கான திறவுகோல்
லித்தோகிராஃபி செயல்முறையின் தரம் மற்றும் விளைச்சலை உறுதி செய்வதற்கு துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு அவசியம். நீர் குளிரூட்டிகள், குளிரூட்டும் அமைப்புகளின் முக்கிய கூறுகளாக, முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன:
குளிரூட்டும் தேவைகள்: லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் வெளிப்பாட்டின் போது வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டவை, மிகவும் துல்லியமான மற்றும் நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்கும் நீர் குளிரூட்டிகள் தேவைப்படுகின்றன.
குளிரூட்டிகளின் செயல்பாடுகள்: குளிரூட்டும் நீரைச் சுற்றுவதன் மூலம், குளிரூட்டிகள் செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் வெப்பத்தை திறம்படச் சிதறடிக்கின்றன, லேசர் உபகரணங்களை உகந்த வெப்பநிலை வரம்பிற்குள் பராமரிக்கின்றன மற்றும் லித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.
TEYU சில்லர் லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களுக்கான தொழில்முறை குளிரூட்டும் தீர்வுகளை வழங்குகிறது
TEYU CWUP தொடர் அல்ட்ராஃபாஸ்ட் லேசர் குளிர்விப்பான்கள் லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களுக்கு துல்லியமான மற்றும் நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்க முடியும். குளிர்விப்பான் மாடல் CWUP-20ANP ±0.08°C வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை அடைகிறது, துல்லியமான உற்பத்திக்கு மிகவும் திறமையான குளிர்ச்சியை வழங்குகிறது.
செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் துல்லியமான உலகில், லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள் மைக்ரோ சர்க்யூட் வடிவங்களை மாற்றுவதற்கான முக்கிய சாதனங்களாகும். தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்துடன், கிரிப்டான் ஃவுளூரைடு லித்தோகிராபி இயந்திரம் மற்றும் ஆர்கான் ஃவுளூரைடு லித்தோகிராபி இயந்திரம் ஆகியவை சிறந்த செயல்திறனுடன் தொழில்துறையின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கும் முக்கிய சக்தியாக மாறியுள்ளன.
உங்களுக்குத் தேவைப்படும்போது நாங்கள் உங்களுக்காக இருக்கிறோம்.
எங்களை தொடர்பு கொள்ள படிவத்தை பூர்த்தி செய்யவும், உங்களுக்கு உதவ நாங்கள் மகிழ்ச்சியடைவோம்.
க 
TEYU S&A சில்லர் 23 வருட சில்லர் உற்பத்தி அனுபவத்துடன் 2002 இல் நிறுவப்பட்டது, இப்போது லேசர் தொழிற்துறையில் குளிரூட்டும் தொழில்நுட்ப முன்னோடியாகவும் நம்பகமான பங்காளியாகவும் அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளது.
பதிப்புரிமை © 2025 TEYU S&A சில்லர் - அனைத்து உரிமைகளும் பாதுகாக்கப்பட்டவை.
