முக்கியச் செய்தி: 8 நானோமீட்டர் அல்லது அதற்கும் குறைவான ஓவர்லே துல்லியத்தன்மை கொண்ட உள்நாட்டு DUV லித்தோகிராபி இயந்திரங்களை MIIT ஊக்குவிக்கிறது.

சமீபத்திய மாதங்களில், தொழில் மற்றும் தகவல் தொழில்நுட்ப அமைச்சகம் (MIIT), "முதல் (தொகுதி) முக்கிய தொழில்நுட்ப உபகரணங்களை மேம்படுத்துவதற்கும் பயன்படுத்துவதற்குமான வழிகாட்டுதல்களை (2024 பதிப்பு)" வெளியிட்டது. இது, 28 நானோமீட்டருக்கு மேற்பட்ட நோடுகளுக்கான முதிர்ந்த சிப் உற்பத்தியின் முழு செயல்முறை உள்ளூர்மயமாக்கலுக்கு வழிவகுக்கிறது!

28nm தொழில்நுட்பம் அதிநவீனமானது அல்ல என்றாலும், குறைந்த மற்றும் நடுத்தர ரக சிப்களுக்கும், நடுத்தர மற்றும் உயர் ரக சிப்களுக்கும் இடையிலான ஒரு பிரிக்கும் கோடாக இது குறிப்பிடத்தக்க முக்கியத்துவத்தைக் கொண்டுள்ளது. மேம்பட்ட CPU-க்கள், GPU-க்கள் மற்றும் AI சிப்களைத் தவிர, பெரும்பாலான தொழில்துறை சிப்கள் 28nm அல்லது அதற்கும் மேலான தொழில்நுட்பங்களைச் சார்ந்தே உள்ளன.

செயல்பாட்டுக் கொள்கை: ஆழ் புற ஊதா கல் அச்சுக்கலையில் முன்னேற்றங்கள்

KrF (கிரிப்டான் ஃபுளோரைடு) மற்றும் ArF (ஆர்கான் ஃபுளோரைடு) லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள், ஆழ் புற ஊதா (DUV) லித்தோகிராஃபி வகையின் கீழ் வருகின்றன. இவை இரண்டுமே, ஒளியியல் அமைப்புகள் மூலம் ஒரு சிலிக்கான் தகட்டின் போட்டோரெசிஸ்ட் அடுக்கின் மீது செலுத்தப்படும் குறிப்பிட்ட ஒளி அலைநீளங்களைப் பயன்படுத்தி, சிக்கலான மின்சுற்று வடிவங்களை மாற்றுகின்றன.

KrF லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள்: 248nm அலைநீள ஒளி மூலத்தைப் பயன்படுத்தி, 110nm-க்கும் குறைவான பிரிதிறன்களை அடைகின்றன; இவை பல்வேறு ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றவை.

ArF லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள்: 193nm அலைநீள ஒளி மூலத்தைப் பயன்படுத்தி, 65nm-க்கும் குறைவான செயல்முறைத் தொழில்நுட்பங்களுக்கு உயர் தெளிவுத்திறனை வழங்கி, நுட்பமான மின்சுற்றுகளை உருவாக்க உதவுகின்றன.

தொழில்நுட்ப முக்கியத்துவம்: தொழில்துறை மேம்பாடு மற்றும் தன்னிறைவு

இந்த லித்தோகிராபி இயந்திரங்களின் வளர்ச்சியானது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை மேம்படுத்துவதிலும் தொழில்துறை தன்னாட்சியை அடைவதிலும் ஒரு முக்கிய மைல்கல்லைக் குறிக்கிறது:

தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்கள்: KrF மற்றும் ArF லித்தோகிராபி இயந்திரங்களின் வெற்றிகரமான உருவாக்கம், உயர்தர லித்தோகிராபி தொழில்நுட்பத்தில் ஏற்பட்டுள்ள குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்தை எடுத்துக்காட்டுவதோடு, குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு வலுவான தொழில்நுட்ப ஆதரவையும் வழங்குகிறது.

தொழில்துறை மேம்பாடு: உயர் துல்லியமான லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள், மிகவும் சிக்கலான மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தியை சாத்தியமாக்கி, குறைக்கடத்தி மதிப்புச் சங்கிலி முழுவதும் புதுமைகளை ஊக்குவிக்கின்றன.

பொருளாதாரம் மற்றும் தேசியப் பாதுகாப்பு: வெளிநாட்டுத் தொழில்நுட்பத்தின் மீதான சார்பைக் குறைப்பதன் மூலம், இந்த இயந்திரங்கள் உள்நாட்டு குறைக்கடத்தித் தொழில்துறையின் தன்னிறைவை வலுப்படுத்தி, பொருளாதார மற்றும் தொழில்துறைப் பாதுகாப்பை மேம்படுத்துகின்றன.

நீர் குளிர்விப்பான் : நிலையான லித்தோகிராபி இயந்திர செயல்திறனுக்கான திறவுகோல்

லித்தோகிராபி செயல்முறையின் தரம் மற்றும் விளைச்சலை உறுதிப்படுத்த, துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு இன்றியமையாதது. குளிரூட்டும் அமைப்புகளின் முக்கிய அங்கங்களான நீர் குளிர்விப்பான்கள், ஒரு முக்கியப் பங்கை வகிக்கின்றன:

குளிரூட்டும் தேவைகள்: லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள் ஒளி வெளிப்பாட்டின் போது ஏற்படும் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டவை, எனவே மிகவும் துல்லியமான மற்றும் நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்கும் நீர் குளிர்விப்பான்கள் அவசியமாகின்றன.

குளிர்விப்பான்களின் செயல்பாடுகள்: குளிர்விக்கும் நீரைச் சுழற்சி செய்வதன் மூலம், குளிர்விப்பான்கள் செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் வெப்பத்தைத் திறம்பட வெளியேற்றி, லேசர் உபகரணங்களை உகந்த வெப்பநிலை வரம்பில் பராமரித்து, லித்தோகிராபி செயல்முறையில் துல்லியத்தையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதி செய்கின்றன.

TEYU சில்லர், லித்தோகிராபி இயந்திரங்களுக்கான தொழில்முறை குளிரூட்டும் தீர்வுகளை வழங்குகிறது.

TEYU CWUP தொடர் அதிவேக லேசர் குளிரூட்டிகள், லித்தோகிராபி இயந்திரங்களுக்குத் துல்லியமான மற்றும் நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்குகின்றன. CWUP-20ANP குளிரூட்டி மாடல் ±0.08°C வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை அடைந்து, துல்லியமான உற்பத்திக்கு மிகவும் திறமையான குளிரூட்டலை வழங்குகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையின் துல்லியமான உலகில், நுண்சுற்று வடிவங்களைப் பரிமாற்றுவதற்கு லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள் முக்கிய சாதனங்களாக விளங்குகின்றன. தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்தால், கிரிப்டான் ஃபுளோரைடு லித்தோகிராபி இயந்திரம் மற்றும் ஆர்கான் ஃபுளோரைடு லித்தோகிராபி இயந்திரம் ஆகியவை தங்களின் சிறப்பான செயல்திறனுடன், இத்துறையின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிப்பதில் ஒரு முக்கிய சக்தியாக உருவெடுத்துள்ளன.