తాజా వార్తలు: ≤8nm ఓవర్‌లే కచ్చితత్వంతో దేశీయ DUV లిథోగ్రఫీ యంత్రాలను MIIT ప్రోత్సహిస్తోంది

ఇటీవలి నెలల్లో, పరిశ్రమ మరియు సమాచార సాంకేతిక మంత్రిత్వ శాఖ (MIIT) "మొదటి (సెట్) ప్రధాన సాంకేతిక పరికరాల ప్రచారం మరియు అనువర్తనం కోసం మార్గదర్శకాలు (2024 ఎడిషన్)"ను జారీ చేసింది. ఇది 28nm కంటే ఎక్కువ నోడ్‌ల కోసం పరిణతి చెందిన చిప్ తయారీ యొక్క పూర్తి-ప్రక్రియ స్థానికీకరణకు మార్గం సుగమం చేస్తుంది!

28nm టెక్నాలజీ అత్యాధునికమైనది కానప్పటికీ, తక్కువ-నుండి-మధ్యస్థాయి మరియు మధ్య-నుండి-అధిక-స్థాయి చిప్‌ల మధ్య విభజన రేఖగా ఇది గణనీయమైన ప్రాముఖ్యతను కలిగి ఉంది. అధునాతన CPUలు, GPUలు మరియు AI చిప్‌లు మినహా, చాలా పారిశ్రామిక-స్థాయి చిప్‌లు 28nm లేదా అంతకంటే ఎక్కువ టెక్నాలజీలపై ఆధారపడి ఉంటాయి.

పనిచేసే సూత్రం: డీప్ అల్ట్రావైలెట్ లిథోగ్రఫీలో పురోగతులు

KrF (క్రిప్టాన్ ఫ్లోరైడ్) మరియు ArF (ఆర్గాన్ ఫ్లోరైడ్) లిథోగ్రఫీ యంత్రాలు డీప్ అల్ట్రావైలెట్ (DUV) లిథోగ్రఫీ వర్గం కిందకు వస్తాయి. ఈ రెండూ, ఆప్టికల్ సిస్టమ్‌ల ద్వారా సిలికాన్ వేఫర్ యొక్క ఫోటోరెసిస్ట్ పొరపైకి ప్రసరింపజేయబడిన నిర్దిష్ట కాంతి తరంగదైర్ఘ్యాలను ఉపయోగించి, సంక్లిష్టమైన సర్క్యూట్ నమూనాలను బదిలీ చేస్తాయి.

KrF లిథోగ్రఫీ యంత్రాలు: ఇవి 248nm తరంగదైర్ఘ్యం గల కాంతి మూలాన్ని ఉపయోగిస్తాయి, 110nm కంటే తక్కువ రిజల్యూషన్‌లను సాధిస్తాయి, వివిధ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీ ప్రక్రియలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి.

ArF లిథోగ్రఫీ యంత్రాలు: 193nm తరంగదైర్ఘ్యం గల కాంతి మూలాన్ని ఉపయోగిస్తాయి, ఇవి 65nm కంటే తక్కువ ప్రాసెస్ టెక్నాలజీలకు అధిక రిజల్యూషన్‌ను అందిస్తూ, మరింత సూక్ష్మమైన సర్క్యూట్‌ల తయారీని సాధ్యం చేస్తాయి.

సాంకేతిక ప్రాముఖ్యత: పరిశ్రమల ఉన్నతీకరణ మరియు స్వావలంబన

ఈ లిథోగ్రఫీ యంత్రాల అభివృద్ధి, సెమీకండక్టర్ తయారీని పురోగమించడంలో మరియు పారిశ్రామిక స్వయంప్రతిపత్తిని సాధించడంలో ఒక ప్రధాన మైలురాయిగా నిలుస్తుంది:

సాంకేతిక పురోగతులు: KrF మరియు ArF లిథోగ్రఫీ యంత్రాల విజయవంతమైన సృష్టి, ఉన్నత-స్థాయి లిథోగ్రఫీ సాంకేతికతలో గణనీయమైన పురోగతిని సూచిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీకి పటిష్టమైన సాంకేతిక మద్దతును అందిస్తుంది.

పరిశ్రమ ఉన్నతీకరణ: అధిక-ఖచ్చితత్వ లిథోగ్రఫీ యంత్రాలు మరింత సంక్లిష్టమైన మరియు అధిక-పనితీరు గల ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌ల ఉత్పత్తిని సాధ్యం చేస్తూ, మొత్తం సెమీకండక్టర్ విలువ గొలుసు అంతటా ఆవిష్కరణలను ముందుకు నడిపిస్తాయి.

ఆర్థిక మరియు జాతీయ భద్రత: విదేశీ సాంకేతికతపై ఆధారపడటాన్ని తగ్గించడం ద్వారా, ఈ యంత్రాలు దేశీయ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క స్వయం సమృద్ధిని బలోపేతం చేసి, ఆర్థిక మరియు పారిశ్రామిక భద్రతను పెంపొందిస్తాయి.

వాటర్ చిల్లర్ : స్థిరమైన లితోగ్రఫీ మెషిన్ పనితీరుకు కీలకం

లిథోగ్రఫీ ప్రక్రియ యొక్క నాణ్యత మరియు దిగుబడిని నిర్ధారించడానికి ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ చాలా అవసరం. శీతలీకరణ వ్యవస్థలలో ప్రధాన భాగాలైన వాటర్ చిల్లర్లు కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి:

శీతలీకరణ అవసరాలు: ఎక్స్‌పోజర్ సమయంలో లితోగ్రఫీ యంత్రాలు ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులకు అత్యంత సున్నితంగా ఉంటాయి, అందువల్ల అత్యంత కచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను అందించే వాటర్ చిల్లర్లు అవసరం.

చిల్లర్ల విధులు: శీతలీకరణ నీటిని ప్రసరింపజేయడం ద్వారా, చిల్లర్లు ఆపరేషన్ సమయంలో ఉత్పన్నమయ్యే వేడిని సమర్థవంతంగా వెదజల్లుతాయి, లేజర్ పరికరాలను సరైన ఉష్ణోగ్రత పరిధిలో ఉంచుతాయి మరియు లిథోగ్రఫీ ప్రక్రియలో ఖచ్చితత్వం మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తాయి.

TEYU లిథోగ్రఫీ మెషీన్‌ల కోసం చిల్లర్ ప్రొఫెషనల్ కూలింగ్ సొల్యూషన్‌లను అందిస్తుంది

TEYU CWUP సిరీస్ అల్ట్రాఫాస్ట్ లేజర్ చిల్లర్లు లిథోగ్రఫీ యంత్రాలకు కచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను అందించగలవు. CWUP-20ANP చిల్లర్ మోడల్ ±0.08°C ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వాన్ని సాధిస్తుంది, ఇది కచ్చితమైన తయారీకి అత్యంత సమర్థవంతమైన శీతలీకరణను అందిస్తుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క ఖచ్చితమైన ప్రపంచంలో, మైక్రోసర్క్యూట్ నమూనాలను బదిలీ చేయడానికి లిథోగ్రఫీ యంత్రాలు ప్రధాన పరికరాలుగా ఉంటాయి. సాంకేతిక పరిజ్ఞానం అభివృద్ధి చెందడంతో, క్రిప్టాన్ ఫ్లోరైడ్ లిథోగ్రఫీ యంత్రం మరియు ఆర్గాన్ ఫ్లోరైడ్ లిథోగ్రఫీ యంత్రం తమ అద్భుతమైన పనితీరుతో పరిశ్రమ అభివృద్ధిని ప్రోత్సహించడంలో ఒక ముఖ్యమైన శక్తిగా మారాయి.