Хабарҳои фаврӣ: MIIT мошинҳои литографияи DUV-и ватаниро бо дақиқии қабати ≤8nm таблиғ мекунад

Дар моҳҳои охир, Вазорати саноат ва технологияҳои иттилоотӣ (MIIT) "Дастурҳо оид ба пешбурд ва татбиқи таҷҳизоти асосии техникии аввал (маҷмӯӣ) (нашри соли 2024)"-ро нашр кард. Ин роҳро барои маҳаллисозии пурраи раванди истеҳсоли чипҳои пухта барои гиреҳҳои болотар аз 28 нм ҳамвор мекунад!

Гарчанде ки технологияи 28nm пешрафта нест, он ҳамчун хати ҷудокунанда байни чипҳои сатҳи паст то миёна ва сатҳи миёна то баланд аҳамияти назаррас дорад. Ғайр аз CPU-ҳои пешрафта, GPU ва чипҳои зеҳни сунъӣ, аксари чипҳои сатҳи саноатӣ ба технологияҳои 28nm ё баландтар такя мекунанд.

Принсипи кор: Пешрафтҳо дар литографияи ултрабунафши амиқ

Мошинҳои литографияи KrF (криптонфторид) ва ArF (фториди аргон) ба категорияи литографияи ултрабунафши амиқ (DUV) дохил мешаванд. Ҳарду аз дарозии мавҷҳои мушаххаси рӯшноӣ, ки тавассути системаҳои оптикӣ ба қабати фоторезистии пластинаи кремний тарҳрезӣ шудаанд, истифода мебаранд ва нақшҳои мураккаби схемаро интиқол медиҳанд.

Мошинҳои литографияи KrF: Манбаи нури мавҷи 248 нм-ро истифода баред, ки қарорҳои камтар аз 110 нм-ро ба даст меоранд ва барои равандҳои гуногуни истеҳсоли схемаҳои интегралӣ мувофиқанд.

Мошинҳои литографияи ArF: Манбаи нури дарозии мавҷи 193 нм-ро истифода баред, ки барои технологияҳои раванди зер аз 65 нм қарори баландтарро пешниҳод мекунад ва имкон медиҳад, ки схемаҳои нозуктар сохта шаванд.

Аҳамияти технологӣ: Такмили саноат ва худкифоӣ

Таҳияи ин мошинҳои литография як марҳилаи муҳим дар пешрафти истеҳсоли нимноқилҳо ва ба даст овардани мустақилияти саноатӣ мебошад:

Дастовардҳои техникӣ: Сохтани бомуваффақияти мошинҳои литографияи KrF ва ArF пешрафти назаррасро дар технологияи литографияи баландсифат нишон медиҳад ва дастгирии техникии мустаҳкамро барои истеҳсоли нимноқилҳо таъмин менамояд.

Такмили саноат: Мошинҳои литографияи дақиқи баланд имкон медиҳанд, ки схемаҳои интегралии мураккабтар ва баландсифат истеҳсол карда шаванд ва инноватсияро дар тамоми занҷири арзиши нимноқилҳо пеш баранд.

Амнияти иқтисодӣ ва миллӣ: Бо кам кардани вобастагӣ аз технологияи хориҷӣ, ин мошинҳо худкифоии саноати нимноқилҳои ватаниро тақвият медиҳанд ва амнияти иқтисодӣ ва саноатиро тақвият медиҳанд.

Сардкунандаи об : Калиди кори устувори мошини литография

Назорати дақиқи ҳарорат барои таъмини сифат ва ҳосилнокии раванди литография муҳим аст. Хлопушкаҳои обӣ, ҳамчун ҷузъҳои асосии системаҳои хунуккунӣ, нақши муҳим доранд:

Талабот ба хунуккунӣ: Мошинҳои литография ба тағйирёбии ҳарорат ҳангоми таъсир хеле ҳассосанд, ки ба хунуккунакҳои об ниёз доранд, ки назорати хеле дақиқ ва устувори ҳароратро таъмин мекунанд.

Вазифаҳои чиллерҳо: Бо гардиши оби хунуккунӣ, чиллерҳо гармии ҳосилшударо ҳангоми кор самаранок пароканда мекунанд ва таҷҳизоти лазериро дар доираи ҳарорати оптималӣ нигоҳ медоранд ва дақиқӣ ва эътимоднокиро дар раванди литография таъмин мекунанд.

TEYU Чиллерҳо барои мошинҳои литография роҳҳои ҳалли касбии хунуккуниро пешниҳод мекунанд

TEYU Сардкунакҳои ултратези лазерии силсилаи CWUP метавонанд назорати дақиқ ва устувори ҳароратро барои дастгоҳҳои литография таъмин кунанд. Модели сардкунаки CWUP-20ANP ба устувории ҳарорат дар ±0.08°C ноил мегардад ва хунуккунии хеле самаранокро барои истеҳсоли дақиқ таъмин мекунад.

Дар ҷаҳони дақиқи истеҳсоли нимноқилҳо, мошинҳои литография дастгоҳҳои асосии интиқоли нақшҳои микросхемаҳо мебошанд. Бо пешрафти технология, мошинҳои литографияи криптон-фторид ва мошинҳои литографияи фториди аргон бо иҷрои аълои худ ба як нерӯи муҳим барои пешбурди рушди соҳа табдил ёфтаанд.