การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำสำหรับระบบเลเซอร์และการใช้งานในอุตสาหกรรมตั้งแต่ปี 2002
ภาษา
แนวทางปี 2024 ของ MIIT ส่งเสริมการแปลเป็นภาษาท้องถิ่นสำหรับการผลิตชิปขนาด 28 นาโนเมตรขึ้นไป ซึ่งถือเป็นก้าวสำคัญทางเทคโนโลยีที่สำคัญ ความก้าวหน้าที่สำคัญ ได้แก่ เครื่องจักรลิโธกราฟี KrF และ ArF ซึ่งช่วยให้เกิดวงจรที่มีความแม่นยำสูงและส่งเสริมการพึ่งพาตนเองของอุตสาหกรรม การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำมีความสำคัญต่อกระบวนการเหล่านี้ โดยเครื่องทำความเย็นด้วยน้ำ TEYU CWUP ช่วยให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่เสถียรในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ในช่วงไม่กี่เดือนที่ผ่านมา กระทรวงอุตสาหกรรมและเทคโนโลยีสารสนเทศ (MIIT) ได้ออก "แนวทางการส่งเสริมและการใช้อุปกรณ์ทางเทคนิคหลักชุดแรก (ฉบับปี 2024)" ซึ่งจะช่วยปูทางไปสู่การผลิตชิปที่โตเต็มที่สำหรับโหนดที่ใหญ่กว่า 28 นาโนเมตรได้ในระดับกระบวนการเต็มรูปแบบ!
แม้ว่าเทคโนโลยี 28 นาโนเมตรจะไม่ใช่เทคโนโลยีที่ทันสมัยที่สุด แต่ก็มีความสำคัญอย่างมากในฐานะเส้นแบ่งระหว่างชิประดับล่างถึงระดับกลางและระดับกลางถึงระดับสูง นอกเหนือจาก CPU, GPU และชิป AI ขั้นสูงแล้ว ชิประดับอุตสาหกรรมส่วนใหญ่ยังใช้เทคโนโลยี 28 นาโนเมตรขึ้นไปอีกด้วย
หลักการทำงาน: ความก้าวหน้าในการพิมพ์หินด้วยรังสีอัลตราไวโอเลตแบบลึก
เครื่องพิมพ์หิน KrF (คริปทอนฟลูออไรด์) และ ArF (อาร์กอนฟลูออไรด์) จัดอยู่ในประเภทเครื่องพิมพ์หินอุลตราไวโอเลตลึก (DUV) ทั้งสองเครื่องนี้ใช้ความยาวคลื่นแสงเฉพาะที่ฉายผ่านระบบออปติกลงบนชั้นโฟโตเรซิสต์ของเวเฟอร์ซิลิกอน โดยถ่ายโอนรูปแบบวงจรที่ซับซ้อน
เครื่องชั่งพิมพ์หิน KrF: ใช้แหล่งกำเนิดแสงที่มีความยาวคลื่น 248 นาโนเมตร ให้ความละเอียดต่ำกว่า 110 นาโนเมตร เหมาะสำหรับกระบวนการผลิตวงจรรวมต่างๆ
เครื่องชั่งพิมพ์หิน ArF: ใช้แหล่งกำเนิดแสงที่มีความยาวคลื่น 193 นาโนเมตร ซึ่งให้ความละเอียดสูงกว่าสำหรับเทคโนโลยีกระบวนการขนาดต่ำกว่า 65 นาโนเมตร ทำให้สามารถผลิตวงจรที่มีความละเอียดมากขึ้นได้
ความสำคัญทางเทคโนโลยี: การยกระดับอุตสาหกรรมและการพึ่งพาตนเอง
การพัฒนาเครื่องพิมพ์หินเหล่านี้ถือเป็นก้าวสำคัญในการก้าวหน้าของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการบรรลุความเป็นอิสระของอุตสาหกรรม:
ความก้าวหน้าทางเทคนิค: การสร้างเครื่องจักรลิโธกราฟี KrF และ ArF ที่ประสบความสำเร็จเป็นการเน้นย้ำถึงความก้าวหน้าครั้งสำคัญในเทคโนโลยีลิโธกราฟีระดับไฮเอนด์ ซึ่งให้การสนับสนุนทางเทคนิคที่แข็งแกร่งสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
การอัพเกรดอุตสาหกรรม: เครื่องจักรกลพิมพ์หินที่มีความแม่นยำสูงช่วยให้สามารถผลิตวงจรรวมที่มีความซับซ้อนและประสิทธิภาพสูงขึ้น ขับเคลื่อนการสร้างสรรค์นวัตกรรมทั่วทั้งห่วงโซ่คุณค่าของเซมิคอนดักเตอร์
ความมั่นคงทางเศรษฐกิจและชาติ: โดยการลดการพึ่งพาเทคโนโลยีต่างประเทศ เครื่องจักรเหล่านี้จะช่วยเสริมสร้างความสามารถในการพึ่งพาตนเองของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในประเทศ ส่งผลให้ความมั่นคงทางเศรษฐกิจและอุตสาหกรรมแข็งแกร่งขึ้น
เครื่องทำน้ำเย็น : กุญแจสู่ประสิทธิภาพเครื่องพิมพ์หินที่เสถียร
การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำถือเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการรับประกันคุณภาพและผลผลิตของกระบวนการพิมพ์หิน เครื่องทำน้ำเย็นซึ่งเป็นส่วนประกอบหลักของระบบทำความเย็นมีบทบาทสำคัญ:
ข้อกำหนดด้านการระบายความร้อน: เครื่องพิมพ์หินมีความอ่อนไหวต่อความผันผวนของอุณหภูมิในระหว่างการรับแสงเป็นอย่างมาก จึงจำเป็นต้องใช้เครื่องทำความเย็นด้วยน้ำที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำและมีเสถียรภาพสูง
หน้าที่ของเครื่องทำความเย็น: ด้วยการหมุนเวียนน้ำหล่อเย็น เครื่องทำความเย็นสามารถระบายความร้อนที่เกิดขึ้นระหว่างการทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยรักษาอุปกรณ์เลเซอร์ให้อยู่ในช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสม และรับประกันความแม่นยำและความน่าเชื่อถือในกระบวนการพิมพ์หิน
TEYU Chiller นำเสนอโซลูชันการทำความเย็นระดับมืออาชีพสำหรับเครื่องพิมพ์ลิโทกราฟี
เครื่องทำความเย็นเลเซอร์ความเร็วสูงซีรีส์ TEYU CWUP สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำและเสถียรสำหรับเครื่องพิมพ์หิน เครื่องทำความเย็นรุ่น CWUP-20ANP มีเสถียรภาพอุณหภูมิที่ ±0.08°C มอบการทำความเย็นที่มีประสิทธิภาพสูงสำหรับการผลิตที่แม่นยำ
ในโลกแห่งการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่แม่นยำ เครื่องจักรลิโธกราฟีถือเป็นอุปกรณ์หลักในการถ่ายโอนรูปแบบไมโครเซอร์กิต ด้วยความก้าวหน้าทางเทคโนโลยี เครื่องจักรลิโธกราฟีคริปทอนฟลูออไรด์และเครื่องจักรลิโธกราฟีอาร์กอนฟลูออไรด์ได้กลายเป็นกำลังสำคัญในการส่งเสริมการพัฒนาอุตสาหกรรมด้วยประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม
เราอยู่ที่นี่เพื่อคุณเมื่อคุณต้องการเรา
โปรดกรอกแบบฟอร์มเพื่อติดต่อเรา และเราจะยินดีช่วยเหลือคุณ
TEYU S&A Chiller ก่อตั้งขึ้นในปีพ.ศ. 2545 โดยมีประสบการณ์ด้านการผลิตเครื่องทำความเย็นมากว่า 23 ปี และปัจจุบันได้รับการยอมรับว่าเป็นผู้บุกเบิกเทคโนโลยีการทำความเย็นและพันธมิตรที่เชื่อถือได้ในอุตสาหกรรมเลเซอร์
ลิขสิทธิ์ © 2025 TEYU S&A Chiller - สงวนลิขสิทธิ์
