Mga Nagbabagang Balita: Itinataguyod ng MIIT ang mga Domestic DUV Lithography Machine na may ≤8nm Overlay Accuracy

Nitong mga nakaraang buwan, naglabas ang Ministry of Industry and Information Technology (MIIT) ng "Mga Alituntunin para sa Pag-promote at Paggamit ng Unang (Set) Pangunahing Teknikal na Kagamitan (Edisyong 2024)". Binibigyang-daan nito ang ganap na lokalisasyon ng proseso ng mature chip manufacturing para sa mga node na higit sa 28nm!

Bagama't hindi makabago ang teknolohiyang 28nm, mahalaga ito bilang paghahati sa pagitan ng mga low-to-mid-end at mid-to-high-end na chips. Bukod sa mga advanced na CPU, GPU, at AI chips, karamihan sa mga industrial-grade chips ay umaasa sa mga teknolohiyang 28nm o mas mataas pa.

Prinsipyo ng Paggawa: Mga Pagsulong sa Deep Ultraviolet Lithography

Ang mga makinang lithography na KrF (Krypton Fluoride) at ArF (Argon Fluoride) ay nabibilang sa kategorya ng Deep Ultraviolet (DUV) lithography. Parehong gumagamit ng mga partikular na wavelength ng liwanag na ipino-project sa pamamagitan ng mga optical system papunta sa photoresist layer ng isang silicon wafer, na naglilipat ng masalimuot na mga pattern ng circuit.

Mga Makinang Litograpiya ng KrF: Gumagamit ng 248nm wavelength na pinagmumulan ng liwanag, na nakakamit ng mga resolusyon na mas mababa sa 110nm, na angkop para sa iba't ibang proseso ng pagmamanupaktura ng integrated circuit.

Mga Makinang Litograpiya ng ArF: Gumagamit ng 193nm wavelength na pinagmumulan ng liwanag, na nag-aalok ng mas mataas na resolution para sa mga teknolohiya ng proseso na sub-65nm, na nagbibigay-daan sa paggawa ng mas pinong mga circuit.

Kahalagahang Teknolohikal: Pagpapahusay ng Industriya at Pag-asa sa Sarili

Ang pag-unlad ng mga makinang lithography na ito ay nagmamarka ng isang mahalagang hakbang sa pagsulong ng pagmamanupaktura ng semiconductor at pagkamit ng awtonomiya sa industriya:

Mga Teknikal na Pagsulong: Ang matagumpay na paglikha ng mga makinang lithography na KrF at ArF ay nagtatampok ng makabuluhang pag-unlad sa high-end na teknolohiya ng lithography, na nagbibigay ng matibay na teknikal na suporta para sa pagmamanupaktura ng semiconductor.

Pagpapahusay sa Industriya: Ang mga high-precision lithography machine ay nagbibigay-daan sa produksyon ng mas kumplikado at high-performance integrated circuits, na nagtutulak ng inobasyon sa buong semiconductor value chain.

Seguridad Pang-ekonomiya at Pambansa: Sa pamamagitan ng pagbabawas ng pagdepende sa dayuhang teknolohiya, pinapalakas ng mga makinang ito ang kasarinlan ng industriya ng semiconductor sa loob ng bansa, na nagpapalakas sa seguridad pang-ekonomiya at industriyal.

Water Chiller : Ang Susi sa Matatag na Pagganap ng Makinang Litograpiya

Mahalaga ang tumpak na pagkontrol sa temperatura para matiyak ang kalidad at resulta ng proseso ng lithography. Ang mga water chiller, bilang mga pangunahing bahagi ng mga sistema ng pagpapalamig, ay may mahalagang papel:

Mga Kinakailangan sa Pagpapalamig: Ang mga makinang panglithography ay lubhang sensitibo sa mga pagbabago-bago ng temperatura habang nakalantad sa tubig, kaya naman kinakailangan ang mga water chiller na nagbibigay ng lubos na tumpak at matatag na kontrol sa temperatura.

Mga Tungkulin ng mga Chiller: Sa pamamagitan ng pagpapaikot ng tubig na nagpapalamig, epektibong pinapawi ng mga chiller ang init na nalilikha habang ginagamit, pinapanatili ang kagamitan sa laser sa loob ng pinakamainam na saklaw ng temperatura at tinitiyak ang katumpakan at pagiging maaasahan sa proseso ng lithography.

TEYU Nag-aalok ang Chiller ng mga Propesyonal na Solusyon sa Pagpapalamig para sa mga Makinang Lithography

TEYU Ang mga ultrafast laser chiller ng seryeng CWUP ay maaaring magbigay ng tumpak at matatag na kontrol sa temperatura para sa mga makinang panglithography. Nakakamit ng chiller model na CWUP-20ANP ang katatagan ng temperatura na ±0.08°C, na naghahatid ng lubos na mahusay na paglamig para sa katumpakan ng paggawa.

Sa mundo ng paggawa ng semiconductor, ang mga makinang lithography ang mga pangunahing aparato para sa paglilipat ng mga pattern ng microcircuit. Sa pagsulong ng teknolohiya, ang mga makinang krypton fluoride lithography at ang mga makinang argon fluoride lithography ay naging isang mahalagang puwersa upang isulong ang pag-unlad ng industriya dahil sa kanilang mahusay na pagganap.