So'nggi yangiliklar: MIIT ≤8nm qoplama aniqligiga ega mahalliy DUV litografiya mashinalarini targ'ib qilmoqda

So'nggi oylarda Sanoat va axborot texnologiyalari vazirligi (MIIT) "Birinchi (to'plam) asosiy texnik uskunalarni (2024 yil nashri) ilgari surish va qo'llash bo'yicha ko'rsatmalar" ni e'lon qildi. Bu 28 nm dan yuqori tugunlar uchun yetuk chip ishlab chiqarishni to'liq jarayonli mahalliylashtirish uchun yo'l ochadi!

28 nm texnologiya eng zamonaviy bo'lmasa-da, u past va o'rta darajadagi va o'rta va yuqori darajadagi chiplar o'rtasidagi ajratuvchi chiziq sifatida muhim ahamiyatga ega. Ilg'or protsessorlar, grafik protsessorlar va AI chiplaridan tashqari, ko'pgina sanoat darajasidagi chiplar 28 nm yoki undan yuqori texnologiyalarga tayanadi.

Ish printsipi: Chuqur ultrabinafsha litografiyadagi yutuqlar

KrF (Kripton ftorid) va ArF (Argon ftorid) litografiya mashinalari chuqur ultrabinafsha (DUV) litografiyasi toifasiga kiradi. Ikkalasi ham murakkab sxema naqshlarini uzatib, optik tizimlar orqali kremniy plastinkasining fotorezist qatlamiga proektsiyalangan ma'lum yorug'lik to'lqin uzunliklaridan foydalanadi.

KrF Litografiya Mashinalari: Turli xil integral mikrosxemalar ishlab chiqarish jarayonlari uchun mos keladigan, 110 nm dan past o'lchamlarga erishgan, 248 nm to'lqin uzunligidagi yorug'lik manbasidan foydalaning.

ArF Litografiya Mashinalari: 193 nm to'lqin uzunligidagi yorug'lik manbasidan foydalaning, bu 65 nm dan past bo'lgan jarayon texnologiyalari uchun yuqori aniqlikni taklif qiladi, bu esa nozikroq sxemalarni ishlab chiqarish imkonini beradi.

Texnologik ahamiyati: Sanoatni yangilash va o'zini o'zi ta'minlash

Ushbu litografiya mashinalarining rivojlanishi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishni rivojlantirish va sanoat avtonomiyasiga erishishda muhim bosqichni belgilaydi:

Texnik yutuqlar: KrF va ArF litografiya mashinalarining muvaffaqiyatli yaratilishi yuqori darajadagi litografiya texnologiyasida sezilarli yutuqlarni ta'kidlaydi va yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun mustahkam texnik yordam ko'rsatadi.

Sanoatni yangilash: Yuqori aniqlikdagi litografiya mashinalari yanada murakkab va yuqori samarali integral mikrosxemalarni ishlab chiqarish imkonini beradi, bu esa butun yarimo'tkazgich qiymat zanjiri bo'ylab innovatsiyalarni rivojlantirishga olib keladi.

Iqtisodiy va milliy xavfsizlik: Xorijiy texnologiyalarga qaramlikni kamaytirish orqali ushbu mashinalar mahalliy yarimo'tkazgichlar sanoatining o'zini o'zi ta'minlashini kuchaytiradi, iqtisodiy va sanoat xavfsizligini mustahkamlaydi.

Suv sovutgichi : Litografiya mashinasining barqaror ishlashining kaliti

Litografiya jarayonining sifati va samaradorligini ta'minlash uchun aniq haroratni nazorat qilish juda muhimdir. Sovutish tizimlarining asosiy komponentlari sifatida suv sovutgichlari muhim rol o'ynaydi:

Sovutish talablari: Litografiya mashinalari ta'sir qilish paytida harorat o'zgarishiga juda sezgir bo'lib, yuqori aniqlikdagi va barqaror haroratni nazorat qilishni ta'minlaydigan suv sovutgichlarini talab qiladi.

Sovutgichlarning funktsiyalari: Sovutgichlar sovutish suvini aylantirish orqali ish paytida hosil bo'ladigan issiqlikni samarali ravishda yo'qotadi, lazer uskunalarini optimal harorat oralig'ida saqlaydi va litografiya jarayonida aniqlik va ishonchlilikni ta'minlaydi.

TEYU Litografiya mashinalari uchun professional sovutish yechimlarini taklif qiluvchi chiller

TEYU CWUP seriyali ultra tezkor lazerli sovutgichlar litografiya mashinalari uchun aniq va barqaror haroratni boshqarishni ta'minlay oladi. CWUP-20ANP sovutgich modeli ±0,08°C harorat barqarorligiga erishadi, bu esa aniq ishlab chiqarish uchun yuqori samarali sovutishni ta'minlaydi.

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning aniq dunyosida litografiya mashinalari mikrosxemalar naqshlarini uzatish uchun asosiy qurilmalar hisoblanadi. Texnologiyaning rivojlanishi bilan kripton ftoridli litografiya mashinasi va argon ftoridli litografiya mashinasi o'zining ajoyib ishlashi bilan sanoatni rivojlantirishga yordam beradigan muhim kuchga aylandi.