Tin tức về Laser
Kiểm soát nhiệt độ chính xác cho hệ thống laser và ứng dụng công nghiệp từ năm 2002
Ngôn ngữ
Hướng dẫn năm 2024 của MIIT thúc đẩy bản địa hóa toàn bộ quy trình sản xuất chip 28nm+, một cột mốc công nghệ quan trọng. Những tiến bộ chính bao gồm máy quang khắc KrF và ArF, cho phép tạo ra mạch có độ chính xác cao và thúc đẩy tính tự chủ của ngành. Kiểm soát nhiệt độ chính xác là rất quan trọng đối với các quy trình này, với máy làm lạnh nước TEYU CWUP đảm bảo hiệu suất ổn định trong sản xuất chất bán dẫn.
Trong những tháng gần đây, Bộ Công nghiệp và Công nghệ thông tin (MIIT) đã ban hành "Hướng dẫn thúc đẩy và ứng dụng Thiết bị kỹ thuật chính (Bộ) đầu tiên (Phiên bản 2024)". Điều này mở đường cho việc nội địa hóa toàn bộ quy trình sản xuất chip trưởng thành cho các nút trên 28nm!
Mặc dù công nghệ 28nm không phải là tiên tiến, nhưng nó có tầm quan trọng đáng kể khi phân chia giữa chip từ thấp đến trung cấp và từ trung cấp đến cao cấp. Ngoài CPU, GPU và chip AI tiên tiến, hầu hết các chip cấp công nghiệp đều dựa trên công nghệ 28nm hoặc cao hơn.
Nguyên lý hoạt động: Những tiến bộ trong công nghệ in thạch bản cực tím sâu
Máy quang khắc KrF (Krypton Fluoride) và ArF (Argon Fluoride) thuộc loại quang khắc cực tím sâu (DUV). Cả hai đều sử dụng các bước sóng ánh sáng cụ thể được chiếu qua hệ thống quang học lên lớp chất cản quang của một tấm wafer silicon, truyền các mẫu mạch phức tạp.
Máy quang khắc KrF: Sử dụng nguồn sáng có bước sóng 248nm, đạt độ phân giải dưới 110nm, phù hợp với nhiều quy trình sản xuất mạch tích hợp khác nhau.
Máy quang khắc ArF: Sử dụng nguồn sáng có bước sóng 193nm, cung cấp độ phân giải cao hơn cho các công nghệ xử lý dưới 65nm, cho phép chế tạo các mạch điện tốt hơn.
Ý nghĩa công nghệ: Nâng cấp ngành công nghiệp và tự lực
Sự phát triển của các máy in thạch bản này đánh dấu một cột mốc quan trọng trong việc thúc đẩy sản xuất chất bán dẫn và đạt được tính tự chủ trong công nghiệp:
Đột phá về mặt kỹ thuật: Việc chế tạo thành công máy quang khắc KrF và ArF đánh dấu bước tiến đáng kể trong công nghệ quang khắc cao cấp, cung cấp hỗ trợ kỹ thuật mạnh mẽ cho sản xuất chất bán dẫn.
Nâng cấp ngành: Máy quang khắc có độ chính xác cao cho phép sản xuất các mạch tích hợp phức tạp hơn và hiệu suất cao hơn, thúc đẩy sự đổi mới trên toàn bộ chuỗi giá trị bán dẫn.
Kinh tế và An ninh Quốc gia: Bằng cách giảm sự phụ thuộc vào công nghệ nước ngoài, những cỗ máy này củng cố khả năng tự cung tự cấp của ngành công nghiệp bán dẫn trong nước, củng cố an ninh kinh tế và công nghiệp.
Máy làm lạnh nước : Chìa khóa cho hiệu suất ổn định của máy in thạch bản
Kiểm soát nhiệt độ chính xác là điều cần thiết để đảm bảo chất lượng và năng suất của quá trình in thạch bản. Máy làm lạnh nước, là thành phần cốt lõi của hệ thống làm mát, đóng vai trò quan trọng:
Yêu cầu làm mát: Máy in thạch bản cực kỳ nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình tiếp xúc, đòi hỏi phải có máy làm lạnh nước có khả năng kiểm soát nhiệt độ cực kỳ chính xác và ổn định.
Chức năng của máy làm lạnh: Bằng cách tuần hoàn nước làm mát, máy làm lạnh tản nhiệt hiệu quả sinh ra trong quá trình vận hành, duy trì thiết bị laser trong phạm vi nhiệt độ tối ưu và đảm bảo độ chính xác và độ tin cậy trong quá trình in thạch bản.
Máy làm lạnh TEYU cung cấp giải pháp làm mát chuyên nghiệp cho máy in thạch bản
Máy làm lạnh laser siêu nhanh TEYU CWUP series có thể cung cấp khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác và ổn định cho máy in thạch bản. Máy làm lạnh model CWUP-20ANP đạt được độ ổn định nhiệt độ là ±0,08°C, mang lại khả năng làm mát hiệu quả cao cho sản xuất chính xác.
Trong thế giới chính xác của sản xuất chất bán dẫn, máy quang khắc là thiết bị cốt lõi để chuyển các mẫu vi mạch. Với sự tiến bộ của công nghệ, máy quang khắc florua krypton và máy quang khắc florua argon đã trở thành một lực lượng quan trọng thúc đẩy sự phát triển của ngành công nghiệp với hiệu suất tuyệt vời của chúng.
Chúng tôi luôn ở đây khi bạn cần.
Vui lòng điền vào mẫu để liên hệ với chúng tôi và chúng tôi sẽ sẵn lòng hỗ trợ bạn.
TEYU S&A Chiller được thành lập vào năm 2002 với 23 năm kinh nghiệm sản xuất máy làm lạnh và hiện được công nhận là đơn vị tiên phong về công nghệ làm mát và là đối tác đáng tin cậy trong ngành công nghiệp laser.
Bản quyền © 2025 TEYU S&A Chiller - Bảo lưu mọi quyền.
