Tin nóng: MIIT thúc đẩy sản xuất máy in thạch bản DUV nội địa với độ chính xác chồng ảnh ≤8nm

Trong những tháng gần đây, Bộ Công nghiệp và Công nghệ Thông tin (MIIT) đã ban hành "Hướng dẫn thúc đẩy và ứng dụng thiết bị công nghệ chủ lực thế hệ đầu tiên (phiên bản 2024)". Điều này mở đường cho việc nội địa hóa hoàn toàn quy trình sản xuất chip đã hoàn thiện cho các công nghệ trên 28nm!

Mặc dù công nghệ 28nm không phải là công nghệ tiên tiến nhất, nhưng nó lại có tầm quan trọng đáng kể như một ranh giới phân chia giữa chip tầm thấp đến trung bình và chip tầm trung đến cao cấp. Ngoại trừ các CPU, GPU và chip AI cao cấp, hầu hết các chip cấp công nghiệp đều dựa trên công nghệ 28nm hoặc cao hơn.

Nguyên lý hoạt động: Những tiến bộ trong kỹ thuật in thạch bản tia cực tím sâu

Máy in thạch bản KrF (Krypton Fluoride) và ArF (Argon Fluoride) thuộc loại in thạch bản tia cực tím sâu (DUV). Cả hai đều sử dụng các bước sóng ánh sáng cụ thể được chiếu qua hệ thống quang học lên lớp chất cản quang của tấm silicon, truyền tải các mẫu mạch phức tạp.

Máy khắc quang KrF: Sử dụng nguồn sáng có bước sóng 248nm, đạt độ phân giải dưới 110nm, phù hợp với nhiều quy trình sản xuất mạch tích hợp khác nhau.

Máy khắc quang ArF: Sử dụng nguồn sáng có bước sóng 193nm, mang lại độ phân giải cao hơn cho các công nghệ xử lý dưới 65nm, cho phép chế tạo các mạch điện tử tinh xảo hơn.

Ý nghĩa công nghệ: Nâng cấp ngành công nghiệp và tự lực

Việc phát triển các máy khắc quang này đánh dấu một cột mốc quan trọng trong việc thúc đẩy sản xuất chất bán dẫn và đạt được sự tự chủ công nghiệp:

Những đột phá kỹ thuật: Việc chế tạo thành công các máy in thạch bản KrF và ArF đánh dấu bước tiến đáng kể trong công nghệ in thạch bản cao cấp, cung cấp hỗ trợ kỹ thuật mạnh mẽ cho sản xuất chất bán dẫn.

Nâng cấp ngành công nghiệp: Máy khắc quang học độ chính xác cao cho phép sản xuất các mạch tích hợp phức tạp hơn và hiệu năng cao hơn, thúc đẩy sự đổi mới trên toàn bộ chuỗi giá trị bán dẫn.

An ninh kinh tế và quốc gia: Bằng cách giảm sự phụ thuộc vào công nghệ nước ngoài, những máy móc này tăng cường khả năng tự cung tự cấp của ngành công nghiệp bán dẫn trong nước, củng cố an ninh kinh tế và công nghiệp.

Hệ thống làm lạnh nước : Chìa khóa cho hiệu suất ổn định của máy in thạch bản.

Kiểm soát nhiệt độ chính xác là điều cần thiết để đảm bảo chất lượng và năng suất của quy trình in thạch bản. Máy làm lạnh nước, là thành phần cốt lõi của hệ thống làm mát, đóng vai trò vô cùng quan trọng:

Yêu cầu làm mát: Máy in thạch bản cực kỳ nhạy cảm với sự dao động nhiệt độ trong quá trình phơi sáng, do đó cần có hệ thống làm lạnh bằng nước để kiểm soát nhiệt độ chính xác và ổn định.

Chức năng của máy làm lạnh: Bằng cách tuần hoàn nước làm mát, máy làm lạnh giúp tản nhiệt hiệu quả lượng nhiệt sinh ra trong quá trình hoạt động, duy trì thiết bị laser trong phạm vi nhiệt độ tối ưu và đảm bảo độ chính xác cũng như độ tin cậy trong quy trình khắc quang học.

TEYU Chiller cung cấp các giải pháp làm mát chuyên nghiệp cho máy in thạch bản

TEYU Bộ làm lạnh laser siêu nhanh dòng CWUP có thể cung cấp khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác và ổn định cho máy in thạch bản. Mô hình bộ làm lạnh CWUP-20ANP đạt được độ ổn định nhiệt độ ±0,08°C, mang lại khả năng làm mát hiệu quả cao cho sản xuất chính xác.

Trong thế giới sản xuất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác cao, máy khắc quang là thiết bị cốt lõi để truyền tải các mẫu vi mạch. Với sự tiến bộ của công nghệ, máy khắc quang sử dụng khí krypton fluoride và máy khắc quang sử dụng khí argon fluoride đã trở thành động lực quan trọng thúc đẩy sự phát triển của ngành công nghiệp nhờ hiệu suất vượt trội của chúng.