לייזער נייַעס
פּינקטלעכע טעמפּעראַטור קאָנטראָל פֿאַר לייזער סיסטעמען און אינדוסטריעלע אַפּליקאַציעס זינט 2002
שפּראַך
די MIIT ס 2024 גיידליינז העכערן פול-פּראָסעס לאָוקאַלאַזיישאַן פֿאַר 28nm+ שפּאָן מאַנופאַקטורינג, אַ קריטיש טעק מיילסטאָון. שליסל אַדוואַנטידזשיז אַרייַננעמען KrF און ArF ליטהאָגראַפי מאשינען, וואָס ינייבאַלז הויך-פּינטלעכקייַט סערקאַץ און בוסטינג ינדאַסטרי זעלבסט-צוטרוי. גענוי טעמפּעראַטור קאָנטראָל איז וויטאַל פֿאַר די פּראַסעסאַז, מיט TEYU CWUP וואַסער טשילערז ינשורינג סטאַביל פאָרשטעלונג אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג.
אין די לעצטע חדשים, דער מיניסטעריום פון ינדאַסטרי און אינפֿאָרמאַציע טעכנאָלאָגיע (MIIT) ארויס די "גיידלינעס פֿאַר די העכערונג און אַפּלאַקיישאַן פון ערשטער (שטעלן) הויפּט טעכניש ויסריכט (2024 אַדישאַן)". דאָס פּאַוועס דעם וועג פֿאַר פול-פּראָצעס לאָוקאַלאַזיישאַן פון דערוואַקסן שפּאָן מאַנופאַקטורינג פֿאַר נאָודז העכער 28נם!
כאָטש 28nm טעכנאָלאָגיע איז נישט קאַטינג-ברעג, עס האלט אַ באַטייטיק וויכטיקייט ווי די דיוויידינג שורה צווישן נידעריק-צו-מיטן-סוף און מיטן-צו-הויך-סוף טשיפּס. חוץ פון אַוואַנסירטע קפּוס, גפּוס און אַי טשיפּס, רובֿ ינדאַסטרי-מיינונג טשיפּס פאַרלאָזנ זיך 28 נם אָדער העכער טעקנאַלאַדזשיז.
ארבעטן פּרינציפּ: אַדוואַנסמאַנץ אין טיף אַלטראַווייאַליט ליטהאָגראַפי
KrF (קריפּטאָן פלואָרידע) און אַרף (אַרגאָן פלואָרידע) ליטהאָגראַפי מאשינען פאַלן אונטער די קאַטעגאָריע פון טיף אַלטראַווייאַליט (DUV) ליטהאָגראַפי. ביידע נוצן ספּעציפיש ליכט ווייוולענגטס פּראַדזשעקטאַד דורך אָפּטיש סיסטעמען אַנטו די פאָטאָרעסיסט שיכטע פון אַ סיליציום ווייפער, טראַנספערינג ינטראַקאַט קרייַז פּאַטערנז.
KrF ליטהאָגראַפי מאשינען: ניצן אַ 248nm ווייוולענגט ליכט מקור, דערגרייכן רעזאַלושאַנז אונטער 110nm, פּאַסיק פֿאַר פאַרשידן ינאַגרייטיד קרייַז מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז.
ArF ליטהאָגראַפי מאשינען: ניצן אַ 193nm ווייוולענגט ליכט מקור, וואָס אָפפערס העכער האַכלאָטע פֿאַר סאַב-65nm פּראָצעס טעקנאַלאַדזשיז, וואָס אַלאַוז די פאַבריקיישאַן פון פיינער סערקאַץ.
טעקנאַלאַדזשיקאַל באַטייַט: ינדאַסטרי אַפּגרייד און זיך-צוטרוי
די אַנטוויקלונג פון די ליטהאָגראַפי מאשינען מאַרקס אַ הויפּט מיילסטאָון אין אַדוואַנסינג סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג און דערגרייכן ינדאַסטריאַל זעלבסט-פאַרוואַלטונג:
טעכניש ברעאַקטהראָוגהס: די געראָטן שאַפונג פון KrF און ArF ליטהאָגראַפי מאשינען כיילייץ באַטייטיק פּראָגרעס אין הויך-סוף ליטהאָגראַפי טעכנאָלאָגיע, פּראַוויידינג שטאַרק טעכניש שטיצן פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג.
ינדאַסטרי אַפּגרייד: הויך-פּינטלעכקייַט ליטהאָגראַפי מאשינען געבן די פּראָדוקציע פון מער קאָמפּליצירט און הויך-פאָרשטעלונג ינאַגרייטיד סערקאַץ, דרייווינג כידעש איבער די גאנצע סעמיקאַנדאַקטער ווערט קייט.
עקאָנאָמיש און נאַשאַנאַל סעקוריטי: דורך רידוסינג אָפענגיקייַט אויף פרעמד טעכנאָלאָגיע, די מאשינען פארשטארקן די דינער סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע ס זעלבסט-גענוג, באָלסטערינג עקאָנאָמיש און אינדוסטריעלע זיכערהייט.
וואַסער טשילער : דער שליסל צו סטאַביל ליטאָגראַפי מאַשין פאָרשטעלונג
גענוי טעמפּעראַטור קאָנטראָל איז יקערדיק פֿאַר ינשורינג די קוואַליטעט און טראָגן פון די ליטהאָגראַפי פּראָצעס. וואַסער טשילערז, ווי האַרץ קאַמפּאָונאַנץ פון קאָאָלינג סיסטעמען, שפּילן אַ וויטאַל ראָלע:
קאָאָלינג רעקווירעמענץ: ליטהאָגראַפי מאשינען זענען גאָר שפּירעוודיק צו טעמפּעראַטור פלאַקטשויישאַנז בעשאַס ויסשטעלן, וואָס דאַרף וואַסער טשילערז וואָס צושטעלן העכסט פּינטלעך און סטאַביל טעמפּעראַטור קאָנטראָל.
פאַנגקשאַנז פון טשילערז: דורך סערקיאַלייטינג קאָאָלינג וואַסער, טשילערז יפעקטיוולי דיסאַפּייט היץ דזשענערייטאַד בעשאַס אָפּעראַציע, האַלטן לאַזער ויסריכט אין אַ אָפּטימאַל טעמפּעראַטור קייט און ינשורינג אַקיעראַסי און רילייאַבילאַטי אין די ליטהאָגראַפי פּראָצעס.
TEYU טשילער אָפפערס פאַכמאַן קאָאָלינג סאַלושאַנז פֿאַר ליטהאָגראַפי מאשינען
TEYU CWUP סעריע הינטער-פאַסט לאַזער טשילערז קענען צושטעלן גענוי און סטאַביל טעמפּעראַטור קאָנטראָל פֿאַר ליטהאָגראַפי מאשינען. די טשילער מאָדעל CWUP-20ANP אַטשיווז טעמפּעראַטור פעסטקייַט פון ± 0.08 ° C, און גיט העכסט עפעקטיוו קאָאָלינג פֿאַר פּינטלעכקייַט מאַנופאַקטורינג.
אין דער גענוי וועלט פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, ליטהאָגראַפי מאשינען זענען די האַרץ דיווייסאַז פֿאַר די אַריבערפירן פון מיקראָסירקויט פּאַטערנז. מיט די העכערונג פון טעכנאָלאָגיע, קריפּטאָן פלאָרייד ליטהאָגראַפי מאַשין און אַרגאָן פלאָרייד ליטהאָגראַפי מאַשין האָבן ווערן אַ וויכטיק קראַפט צו העכערן די אַנטוויקלונג פון די אינדוסטריע מיט זייער ויסגעצייכנט פאָרשטעלונג.
מיר זענען דאָ פֿאַר איר ווען איר דאַרפֿן אונדז.
ביטע פאַרענדיקן דעם פאָרעם צו קאָנטאַקט אונדז, און מיר וועלן זיין צופרידן צו העלפן איר.
TEYU S&A טשילער איז געגרינדעט געוואָרן אין 2002 מיט 23 יאָר דערפאַרונג אין טשילער פּראָדוקציע, און ווערט איצט אנערקענט ווי אַ פּיאָניר אין קאָאָלינג טעכנאָלאָגיע און אַ פאַרלעסלעכער פּאַרטנער אין דער לאַזער אינדוסטריע.
קאַפּירייט © 2025 TEYU S&A טשילער - אַלע רעכטן רעזערווירט.
