Eilmeldung: MIIT fördert inländische DUV-Lithografiemaschinen mit einer Überlagerungsgenauigkeit von ≤8 nm

Das Ministerium für Industrie und Informationstechnologie (MIIT) hat in den letzten Monaten die „Richtlinien zur Förderung und Anwendung erster wichtiger technischer Ausrüstungen (Ausgabe 2024)“ veröffentlicht. Dies ebnet den Weg für die vollständige Lokalisierung der ausgereiften Chipfertigung für Strukturgrößen über 28 nm!

Obwohl die 28-nm-Technologie nicht mehr als hochmodern gilt, ist sie von großer Bedeutung, da sie die Grenze zwischen Chips der unteren und mittleren Preisklasse sowie der mittleren und oberen Preisklasse markiert. Abgesehen von fortschrittlichen CPUs, GPUs und KI-Chips basieren die meisten Chips für industrielle Anwendungen auf 28-nm- oder höherwertigen Technologien.

Funktionsprinzip: Fortschritte in der Tief-Ultraviolett-Lithographie

KrF- (Kryptonfluorid) und ArF-Lithografieanlagen (Argonfluorid) gehören zur Kategorie der Tief-Ultraviolett-Lithografie (DUV). Beide nutzen spezifische Lichtwellenlängen, die durch optische Systeme auf die Fotolackschicht eines Siliziumwafers projiziert werden, um komplexe Schaltungsmuster zu übertragen.

KrF-Lithographiemaschinen: Verwenden eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 248 nm und erreichen Auflösungen unter 110 nm, die für verschiedene Herstellungsverfahren integrierter Schaltungen geeignet sind.

ArF-Lithographiemaschinen: Sie verwenden eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 193 nm und bieten eine höhere Auflösung für Prozesstechnologien unter 65 nm, wodurch die Herstellung feinerer Schaltkreise ermöglicht wird.

Technologische Bedeutung: Modernisierung der Industrie und Steigerung der Selbstversorgung

Die Entwicklung dieser Lithographiemaschinen stellt einen wichtigen Meilenstein für den Fortschritt der Halbleiterfertigung und die Erreichung industrieller Autonomie dar:

Technische Durchbrüche: Die erfolgreiche Entwicklung von KrF- und ArF-Lithographiemaschinen unterstreicht den bedeutenden Fortschritt in der High-End-Lithographietechnologie und bietet eine solide technische Unterstützung für die Halbleiterfertigung.

Branchenmodernisierung: Hochpräzise Lithographiemaschinen ermöglichen die Herstellung komplexerer und leistungsfähigerer integrierter Schaltungen und treiben so Innovationen entlang der gesamten Wertschöpfungskette der Halbleiterindustrie voran.

Wirtschaftliche und nationale Sicherheit: Durch die Verringerung der Abhängigkeit von ausländischer Technologie stärken diese Maschinen die Selbstversorgung der heimischen Halbleiterindustrie und damit die wirtschaftliche und industrielle Sicherheit.

Wasserkühler : Der Schlüssel zu einer stabilen Leistung von Lithographiemaschinen

Eine präzise Temperaturregelung ist unerlässlich, um die Qualität und Ausbeute des Lithographieprozesses zu gewährleisten. Wasserkühler spielen als Kernkomponenten von Kühlsystemen eine entscheidende Rolle:

Kühlungsanforderungen: Lithographiemaschinen reagieren äußerst empfindlich auf Temperaturschwankungen während der Belichtung, weshalb Wasserkühler erforderlich sind, die eine hochpräzise und stabile Temperaturregelung gewährleisten.

Funktionen der Kältemaschinen: Durch die Zirkulation von Kühlwasser führen die Kältemaschinen der während des Betriebs entstehenden Wärme effektiv zu, halten die Lasergeräte in einem optimalen Temperaturbereich und gewährleisten so Genauigkeit und Zuverlässigkeit im Lithographieprozess.

TEYU Chiller bietet professionelle Kühllösungen für Lithographiemaschinen an

Die ultraschnellen Laserkühler der CWUP-Serie ermöglichen eine präzise und stabile Temperaturregelung für Lithographieanlagen. Das Modell CWUP-20ANP erreicht eine Temperaturstabilität von ±0,08 °C und bietet so eine hocheffiziente Kühlung für die Präzisionsfertigung.

In der hochpräzisen Welt der Halbleiterfertigung sind Lithographieanlagen die zentralen Geräte zur Übertragung von Mikroschaltungsmustern. Dank des technologischen Fortschritts haben sich Kryptonfluorid- und Argonfluorid-Lithographieanlagen mit ihrer hervorragenden Leistung zu wichtigen Triebkräften für die Weiterentwicklung der Branche entwickelt.