Tarkka lämpötilansäätö laserjärjestelmiin ja teollisuussovelluksiin vuodesta 2002 lähtien
Kieli
MIIT:n 2024-ohjeet edistävät koko prosessin lokalisointia yli 28 nm:n sirujen valmistuksessa, mikä on ratkaiseva tekninen virstanpylväs. Keskeisiä edistysaskeleita ovat KrF- ja ArF-litografiakoneet, jotka mahdollistavat korkean tarkkuuden piirit ja lisäävät alan omavaraisuutta. Tarkka lämpötilan säätö on elintärkeää näille prosesseille, ja TEYU CWUP -vesijäähdyttimet takaavat vakaan suorituskyvyn puolijohteiden valmistuksessa.
Viime kuukausina teollisuus- ja tietotekniikkaministeriö (MIIT) on julkaissut "Ohjeet ensimmäisten (sarjan) tärkeimpien teknisten laitteiden edistämiseksi ja soveltamiseksi (2024-painos)". Tämä tasoittaa tietä kypsän sirunvalmistuksen täyden prosessin lokalisoinnille yli 28 nm:n solmuille!
Vaikka 28 nm:n tekniikka ei ole huippuluokkaa, sillä on suuri merkitys jakoviivana matalan ja keskitason ja keskitason ja huippuluokan sirujen välillä. Kehittyneiden prosessorien, grafiikkasuorittimien ja tekoälypiirien lisäksi useimmat teollisuusluokan sirut perustuvat 28 nm:n tai uudempiin teknologioihin.
Toimintaperiaate: Syvän ultraviolettilitografian edistysaskel
KrF (Krypton Fluoride) ja ArF (Argon Fluoride) litografiakoneet kuuluvat Deep Ultraviolet (DUV) -litografian luokkaan. Molemmat käyttävät erityisiä valon aallonpituuksia, jotka projisoidaan optisten järjestelmien läpi piikiekon fotoresistikerrokseen siirtäen monimutkaisia piirikuvioita.
KrF-litografiakoneet: Käytä 248 nm:n aallonpituuden valonlähdettä, jonka resoluutio on alle 110 nm ja joka sopii erilaisiin integroitujen piirien valmistusprosesseihin.
ArF-litografiakoneet: Käytä 193 nm:n aallonpituuden valonlähdettä, joka tarjoaa korkeamman resoluution alle 65 nm:n prosessiteknologioihin, mikä mahdollistaa hienompien piirien valmistamisen.
Teknologinen merkitys: Toimialan päivitys ja omavaraisuus
Näiden litografiakoneiden kehitys on merkittävä virstanpylväs puolijohteiden valmistuksen edistämisessä ja teollisen autonomian saavuttamisessa:
Tekniset läpimurrot: KrF- ja ArF-litografiakoneiden onnistunut luominen korostaa merkittävää edistystä huippuluokan litografiatekniikassa, mikä tarjoaa vahvan teknisen tuen puolijohteiden valmistukseen.
Teollisuuden päivitys: Erittäin tarkat litografiakoneet mahdollistavat monimutkaisempien ja tehokkaampien integroitujen piirien tuotannon, mikä edistää innovaatiota koko puolijohteiden arvoketjussa.
Talous ja kansallinen turvallisuus: Vähentämällä riippuvuutta ulkomaisesta teknologiasta nämä koneet vahvistavat kotimaisen puolijohdeteollisuuden omavaraisuutta ja vahvistavat taloudellista ja teollista turvallisuutta.
Vedenjäähdytin : avain vakaaseen litografiakoneen suorituskykyyn
Tarkka lämpötilan säätö on välttämätöntä litografiaprosessin laadun ja tuoton varmistamiseksi. Vedenjäähdyttimillä, jotka ovat jäähdytysjärjestelmien ydinkomponentteja, on tärkeä rooli:
Jäähdytysvaatimukset: Litografiakoneet ovat erittäin herkkiä lämpötilan vaihteluille altistuksen aikana, mikä vaatii vedenjäähdyttimiä, jotka tarjoavat erittäin tarkan ja vakaan lämpötilan hallinnan.
Jäähdytinten toiminnot: Kierrättämällä jäähdytysvettä jäähdyttimet poistavat tehokkaasti käytön aikana syntyvää lämpöä, pitävät laserlaitteet optimaalisella lämpötila-alueella ja varmistavat litografiaprosessin tarkkuuden ja luotettavuuden.
TEYU Chiller tarjoaa ammattimaisia jäähdytysratkaisuja litografiakoneille
TEYU CWUP -sarjan ultranopeat laserjäähdyttimet voivat tarjota tarkan ja vakaan lämpötilan hallinnan litografiakoneille. Jäähdytysmalli CWUP-20ANP saavuttaa ±0,08 °C:n lämpötilavakauden, mikä tarjoaa erittäin tehokkaan jäähdytyksen tarkkuusvalmistukseen.
Puolijohteiden valmistuksen tarkassa maailmassa litografiakoneet ovat keskeisiä laitteita mikropiirikuvioiden siirtämisessä. Tekniikan kehittymisen myötä kryptonfluoridilitografiakoneesta ja argonfluoridilitografiakoneesta on tullut tärkeä voima edistää alan kehitystä erinomaisella suorituskyvyllään.
Olemme täällä sinua varten, kun tarvitset meitä.
Ota meihin yhteyttä täyttämällä lomake, niin autamme sinua mielellämme.
TEYU S&A Chiller perustettiin vuonna 2002 23 vuoden kokemuksella jäähdyttimien valmistuksesta, ja se on nyt tunnustettu jäähdytysteknologian edelläkävijäksi ja luotettavaksi kumppaniksi laserteollisuudessa.
Tekijänoikeus © 2025 TEYU S&A Chiller - Kaikki oikeudet pidätetään.
