Шұғыл жаңалықтар: MIIT ≤8 нм қабаттасу дәлдігі бар отандық DUV литографиялық машиналарын жарнамалайды

Соңғы айларда Индустрия және ақпараттық технологиялар министрлігі (MIIT) «Бірінші (жиынтық) негізгі техникалық жабдықты (2024 жылғы басылым) насихаттау және қолдану бойынша нұсқаулықты» шығарды. Бұл 28 нм-ден жоғары түйіндер үшін жетілген чип өндірісін толық процесті оқшаулауға жол ашады!

28 нм технологиясы заманауи болмаса да, ол төмен және орта деңгейлі және орта және жоғары деңгейлі чиптер арасындағы бөлгіш сызық ретінде маңызды маңызға ие. Жетілдірілген процессорлардан, графикалық процессорлардан және жасанды интеллект чиптерінен басқа, өнеркәсіптік деңгейдегі чиптердің көпшілігі 28 нм немесе одан жоғары технологияларға негізделген.

Жұмыс принципі: Терең ультракүлгін литографиядағы жетістіктер

KrF (Криптон фториді) және ArF (Аргон фториді) литография машиналары терең ультракүлгін (DUV) литография санатына жатады. Екеуі де күрделі тізбек үлгілерін тасымалдай отырып, оптикалық жүйелер арқылы кремний пластинасының фоторезист қабатына проекцияланған белгілі бір жарық толқын ұзындықтарын пайдаланады.

KrF литографиялық машиналары: әртүрлі интегралды схема өндірісі процестеріне жарамды, 110 нм-ден төмен ажыратымдылыққа қол жеткізетін 248 нм толқын ұзындығындағы жарық көзін пайдаланыңыз.

ArF литографиялық машиналары: 65 нм-ден төмен технологиялық технологиялар үшін жоғары ажыратымдылықты ұсынатын, 193 нм толқын ұзындығындағы жарық көзін пайдаланыңыз, бұл жұқа тізбектерді жасауға мүмкіндік береді.

Технологиялық маңыздылығы: саланы жаңғырту және өзін-өзі қамтамасыз ету

Бұл литографиялық машиналардың дамуы жартылай өткізгіш өндірісті дамытудағы және өнеркәсіптік автономияға қол жеткізудегі маңызды кезең болып табылады:

Техникалық жетістіктер: KrF және ArF литография машиналарының сәтті жасалуы жоғары деңгейлі литография технологиясындағы айтарлықтай прогресті көрсетіп, жартылай өткізгіш өндірісіне берік техникалық қолдау көрсетеді.

Саланы жаңғырту: Жоғары дәлдіктегі литографиялық машиналар күрделірек және жоғары өнімді интегралдық схемаларды өндіруге мүмкіндік береді, бұл бүкіл жартылай өткізгіш құндылық тізбегіндегі инновацияны алға жылжытады.

Экономикалық және ұлттық қауіпсіздік: Шетелдік технологияларға тәуелділікті азайту арқылы бұл машиналар отандық жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің өзін-өзі қамтамасыз етуін нығайтады, экономикалық және өнеркәсіптік қауіпсіздікті нығайтады.

Су салқындатқышы : литография машинасының тұрақты жұмысының кілті

Литография процесінің сапасы мен өнімділігін қамтамасыз ету үшін температураны дәл бақылау өте маңызды. Су салқындатқыштары, салқындату жүйелерінің негізгі компоненттері ретінде, маңызды рөл атқарады:

Салқындату талаптары: Литографиялық машиналар әсер ету кезінде температураның ауытқуларына өте сезімтал, сондықтан температураны жоғары дәлдікпен және тұрақты бақылауды қамтамасыз ететін су салқындатқыштары қажет.

Салқындатқыштардың функциялары: Салқындатқыштар салқындатқыш суды айналдыру арқылы жұмыс кезінде пайда болатын жылуды тиімді түрде жояды, лазерлік жабдықты оңтайлы температура диапазонында ұстайды және литография процесінде дәлдік пен сенімділікті қамтамасыз етеді.

TEYU Литография машиналарына арналған кәсіби салқындату шешімдерін ұсынады

TEYU CWUP сериялы аса жылдам лазерлік салқындатқыштар литографиялық машиналар үшін дәл және тұрақты температураны бақылауды қамтамасыз ете алады. CWUP-20ANP салқындатқыш моделі ±0,08°C температура тұрақтылығына қол жеткізеді, бұл дәл өндіріс үшін жоғары тиімді салқындатуды қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгіштер өндірісінің нақты әлемінде литография машиналары микросхема үлгілерін беруге арналған негізгі құрылғылар болып табылады. Технологияның дамуымен криптон фторидті литография машинасы және аргон фторидті литография машинасы өздерінің тамаша өнімділігімен саланың дамуын ілгерілететін маңызды күшке айналды.