2002 ರಿಂದ ಲೇಸರ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ
ಭಾಷೆ
MIIT ಯ 2024 ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಗಳು 28nm+ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ಪೂರ್ಣ-ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಳೀಕರಣವನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಟೆಕ್ ಮೈಲಿಗಲ್ಲು. ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಗತಿಗಳಲ್ಲಿ KrF ಮತ್ತು ArF ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಸೇರಿವೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉದ್ಯಮದ ಸ್ವಾವಲಂಬನೆಯನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವು ಅತ್ಯಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ, TEYU CWUP ವಾಟರ್ ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಇತ್ತೀಚಿನ ತಿಂಗಳುಗಳಲ್ಲಿ, ಕೈಗಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಮಾಹಿತಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಸಚಿವಾಲಯ (MIIT) "ಮೊದಲ (ಸೆಟ್) ಪ್ರಮುಖ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ (2024 ಆವೃತ್ತಿ) ಪ್ರಚಾರ ಮತ್ತು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಾಗಿ ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಗಳನ್ನು" ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಿದೆ. ಇದು 28nm ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ನೋಡ್‌ಗಳಿಗೆ ಪ್ರಬುದ್ಧ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪೂರ್ಣ-ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಳೀಕರಣಕ್ಕೆ ದಾರಿ ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ!
28nm ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕವಲ್ಲದಿದ್ದರೂ, ಕಡಿಮೆ-ಮಧ್ಯದ-ಮಧ್ಯದ ಮತ್ತು ಮಧ್ಯದಿಂದ-ಹೈ-ಅಂತ್ಯದ ಚಿಪ್‌ಗಳ ನಡುವಿನ ವಿಭಜಿಸುವ ರೇಖೆಯಾಗಿ ಇದು ಗಮನಾರ್ಹ ಪ್ರಾಮುಖ್ಯತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಸುಧಾರಿತ CPUಗಳು, GPUಗಳು ಮತ್ತು AI ಚಿಪ್‌ಗಳ ಹೊರತಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕೈಗಾರಿಕಾ ದರ್ಜೆಯ ಚಿಪ್‌ಗಳು 28nm ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿವೆ.
ವರ್ಕಿಂಗ್ ಪ್ರಿನ್ಸಿಪಲ್: ಡೀಪ್ ಅಲ್ಟ್ರಾವೈಲೆಟ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರಗತಿಗಳು
KrF (ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್) ಮತ್ತು ArF (ಆರ್ಗಾನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್) ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಆಳವಾದ ನೇರಳಾತೀತ (DUV) ಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ವರ್ಗಕ್ಕೆ ಸೇರುತ್ತವೆ. ಎರಡೂ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್ ಪದರದ ಮೇಲೆ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳ ಮೂಲಕ ಪ್ರಕ್ಷೇಪಿಸಲಾದ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಬೆಳಕಿನ ತರಂಗಾಂತರಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ, ಸಂಕೀರ್ಣವಾದ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ವರ್ಗಾಯಿಸುತ್ತವೆ.
KrF ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು: 248nm ತರಂಗಾಂತರದ ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲವನ್ನು ಬಳಸಿ, 110nm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್‌ಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಿ, ವಿವಿಧ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ArF ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು: 193nm ತರಂಗಾಂತರದ ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲವನ್ನು ಬಳಸಿ, ಉಪ-65nm ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ನೀಡುತ್ತದೆ, ಉತ್ತಮವಾದ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ತಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ರಾಮುಖ್ಯತೆ: ಉದ್ಯಮದ ಅಪ್ಗ್ರೇಡ್ ಮತ್ತು ಸ್ವಾವಲಂಬನೆ
ಈ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಮುಂದುವರೆಸುವಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಸ್ವಾಯತ್ತತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುವಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಮೈಲಿಗಲ್ಲನ್ನು ಗುರುತಿಸುತ್ತದೆ:
ತಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ರಗತಿಗಳು: KrF ಮತ್ತು ArF ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಯಶಸ್ವಿ ರಚನೆಯು ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ಎತ್ತಿ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ದೃಢವಾದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಬೆಂಬಲವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
ಇಂಡಸ್ಟ್ರಿ ಅಪ್ಗ್ರೇಡ್: ಹೈ-ನಿಖರವಾದ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಸಂಕೀರ್ಣವಾದ ಮತ್ತು ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಅರೆವಾಹಕ ಮೌಲ್ಯ ಸರಪಳಿಯಲ್ಲಿ ನಾವೀನ್ಯತೆಯನ್ನು ಚಾಲನೆ ಮಾಡುತ್ತವೆ.
ಆರ್ಥಿಕ ಮತ್ತು ರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಭದ್ರತೆ: ವಿದೇಶಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಮೇಲಿನ ಅವಲಂಬನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಈ ಯಂತ್ರಗಳು ದೇಶೀಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮದ ಸ್ವಾವಲಂಬನೆಯನ್ನು ಬಲಪಡಿಸುತ್ತವೆ, ಆರ್ಥಿಕ ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಭದ್ರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತವೆ.
ವಾಟರ್ ಚಿಲ್ಲರ್ : ಸ್ಥಿರವಾದ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ಕೀ
ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವು ಅತ್ಯಗತ್ಯ. ವಾಟರ್ ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳು, ಕೂಲಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳಾಗಿ, ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ:
ಕೂಲಿಂಗ್ ಅಗತ್ಯತೆಗಳು: ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಒಡ್ಡುವಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರವಾದ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ನೀರಿನ ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.
ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳ ಕಾರ್ಯಗಳು: ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರನ್ನು ಪರಿಚಲನೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಹೊರಹಾಕುತ್ತದೆ, ಲೇಸರ್ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಸೂಕ್ತ ತಾಪಮಾನದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ TEYU ಚಿಲ್ಲರ್ ವೃತ್ತಿಪರ ಕೂಲಿಂಗ್ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ
TEYU CWUP ಸರಣಿಯ ಅಲ್ಟ್ರಾಫಾಸ್ಟ್ ಲೇಸರ್ ಚಿಲ್ಲರ್‌ಗಳು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ನಿಖರವಾದ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು. ಚಿಲ್ಲರ್ ಮಾದರಿ CWUP-20ANP ± 0.08 ° C ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ, ನಿಖರವಾದ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ನಿಖರವಾದ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಮೈಕ್ರೊ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಗಳ ವರ್ಗಾವಣೆಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನಗಳಾಗಿವೆ. ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಪ್ರಗತಿಯೊಂದಿಗೆ, ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ತಮ್ಮ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯೊಂದಿಗೆ ಉದ್ಯಮದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸಲು ಪ್ರಮುಖ ಶಕ್ತಿಯಾಗಿ ಮಾರ್ಪಟ್ಟಿವೆ.
ನಿಮಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವಾಗ ನಾವು ನಿಮಗಾಗಿ ಇಲ್ಲಿದ್ದೇವೆ.
ನಮ್ಮನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಲು ದಯವಿಟ್ಟು ಫಾರ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಿ ಮತ್ತು ನಿಮಗೆ ಸಹಾಯ ಮಾಡಲು ನಾವು ಸಂತೋಷಪಡುತ್ತೇವೆ.
| 
TEYU S&A ಚಿಲ್ಲರ್ ಅನ್ನು 23 ವರ್ಷಗಳ ಚಿಲ್ಲರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಅನುಭವದೊಂದಿಗೆ 2002 ರಲ್ಲಿ ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಯಿತು ಮತ್ತು ಈಗ ಲೇಸರ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಕೂಲಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಪ್ರವರ್ತಕ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪಾಲುದಾರ ಎಂದು ಗುರುತಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ.
ಕೃತಿಸ್ವಾಮ್ಯ © 2025 TEYU S&A ಚಿಲ್ಲರ್ - ಎಲ್ಲ ಹಕ್ಕುಗಳನ್ನು ಕಾಯ್ದಿರಿಸಲಾಗಿದೆ.
