သတင်းထူးများ- MIIT မှ ≤8nm Overlay Accuracy ရှိသော ပြည်တွင်း DUV Lithography စက်များကို မြှင့်တင်ပေး

မကြာသေးမီလများအတွင်း စက်မှုနှင့် သတင်းအချက်အလက်နည်းပညာဝန်ကြီးဌာန (MIIT) သည် "ပထမဆုံး (အစုံ) အဓိက နည်းပညာပစ္စည်းကိရိယာများ မြှင့်တင်ရေးနှင့် အသုံးချမှုအတွက် လမ်းညွှန်ချက်များ (၂၀၂၄ ခုနှစ်ထုတ်)" ကို ထုတ်ပြန်ခဲ့သည်။ ၎င်းသည် 28nm အထက် node များအတွက် ရင့်ကျက်သော ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှု၏ လုပ်ငန်းစဉ်အပြည့်အစုံကို ဒေသအလိုက်ပြောင်းလဲရန် လမ်းခင်းပေးပါသည်။

28nm နည်းပညာသည် ခေတ်မီဆန်းပြားသော နည်းပညာမဟုတ်သော်လည်း၊ အနိမ့်မှ အလယ်အလတ်အဆင့် ချစ်ပ်များနှင့် အလယ်အလတ်မှ မြင့်မားသောအဆင့် ချစ်ပ်များအကြား ခွဲခြားမှုမျဉ်းအဖြစ် သိသာထင်ရှားသော အရေးပါမှုရှိပါသည်။ အဆင့်မြင့် CPU များ၊ GPU များနှင့် AI ချစ်ပ်များအပြင်၊ စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး အဆင့်မြင့် ချစ်ပ်အများစုသည် 28nm သို့မဟုတ် ပိုမိုမြင့်မားသော နည်းပညာများကို အားကိုးအားထားပြုပါသည်။

အလုပ်လုပ်ပုံ အခြေခံမူ- နက်ရှိုင်းသော ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည် လစ်သိုဂရပ်ဖီတွင် တိုးတက်မှုများ

KrF (Krypton Fluoride) နှင့် ArF (Argon Fluoride) လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်များသည် Deep Ultraviolet (DUV) လစ်သိုဂရပ်ဖီ အမျိုးအစားအောက်တွင် ပါဝင်သည်။ နှစ်မျိုးစလုံးသည် အလင်းစနစ်များမှတစ်ဆင့် ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ photoresist အလွှာပေါ်သို့ ထုတ်လွှတ်သော သီးခြားအလင်းလှိုင်းအလျားများကို အသုံးပြုပြီး ရှုပ်ထွေးသော ဆားကစ်ပုံစံများကို လွှဲပြောင်းပေးသည်။

KrF ပုံနှိပ်ကျောက်စက်များ- ပေါင်းစပ်ဆားကစ်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အမျိုးမျိုးအတွက် သင့်လျော်သော 110nm အောက် ရုပ်ထွက်အရည်အသွေးများရရှိသည့် 248nm လှိုင်းအလျား အလင်းရင်းမြစ်ကို အသုံးပြုပါ။

ArF ပုံနှိပ်ကျောက်စက်များ- 193nm လှိုင်းအလျားရှိသော အလင်းအရင်းအမြစ်ကို အသုံးပြုပါ၊ ၎င်းသည် 65nm အောက် လုပ်ငန်းစဉ်နည်းပညာများအတွက် ပိုမိုမြင့်မားသော ရုပ်ထွက်အရည်အသွေးကို ပေးစွမ်းနိုင်သောကြောင့် ပိုမိုအသေးစိတ်ကျသော ဆားကစ်များ ထုတ်လုပ်နိုင်စေပါသည်။

နည်းပညာဆိုင်ရာ အရေးပါမှု- စက်မှုလုပ်ငန်း အဆင့်မြှင့်တင်မှုနှင့် ကိုယ့်ကိုယ်ကိုယ် မှီခိုအားထားမှု

ဤလစ်သိုဂရပ်ဖီစက်များ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်လာခြင်းသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်မှုကို မြှင့်တင်ခြင်းနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်း ကိုယ်ပိုင်အုပ်ချုပ်ခွင့် ရရှိခြင်းတွင် အဓိက မှတ်တိုင်တစ်ခု ဖြစ်ပါသည်။

နည်းပညာဆိုင်ရာ အောင်မြင်မှုများ- KrF နှင့် ArF လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်များကို အောင်မြင်စွာ ဖန်တီးနိုင်ခဲ့ခြင်းသည် အဆင့်မြင့် လစ်သိုဂရပ်ဖီနည်းပညာတွင် သိသာထင်ရှားသော တိုးတက်မှုကို မီးမောင်းထိုးပြနေပြီး၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်မှုအတွက် ခိုင်မာသော နည်းပညာပံ့ပိုးမှုကို ပေးစွမ်းပါသည်။

စက်မှုလုပ်ငန်း အဆင့်မြှင့်တင်မှု- မြင့်မားသော တိကျမှုရှိသော လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်များသည် ပိုမိုရှုပ်ထွေးပြီး မြင့်မားသော စွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော ပေါင်းစပ်ဆားကစ်များ ထုတ်လုပ်နိုင်စေပြီး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း တန်ဖိုးကွင်းဆက်တစ်ခုလုံးတွင် ဆန်းသစ်တီထွင်မှုကို မောင်းနှင်ပါသည်။

စီးပွားရေးနှင့် အမျိုးသားလုံခြုံရေး- နိုင်ငံခြားနည်းပညာအပေါ် မှီခိုမှုကို လျှော့ချခြင်းဖြင့် ဤစက်များသည် ပြည်တွင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်း၏ ကိုယ်ပိုင်ဖူလုံမှုကို အားကောင်းစေပြီး စီးပွားရေးနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းလုံခြုံရေးကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

ရေအေးပေးစက် : တည်ငြိမ်သော ကျောက်ပုံနှိပ်စက် စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် အဓိကသော့ချက်

လစ်သရိုဂရပ်ဖီလုပ်ငန်းစဉ်၏ အရည်အသွေးနှင့် အထွက်နှုန်းကို သေချာစေရန်အတွက် တိကျသော အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ ရေအေးပေးစက်များသည် အအေးပေးစနစ်များ၏ အဓိကအစိတ်အပိုင်းများအဖြစ် အရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်-

အအေးခံရန် လိုအပ်ချက်များ- ပုံနှိပ်ကျောက်စက်များသည် ထိတွေ့မှုအတွင်း အပူချိန်အတက်အကျများကို အလွန်အမင်း ထိခိုက်လွယ်သောကြောင့် အလွန်တိကျပြီး တည်ငြိမ်သော အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုကို ပေးစွမ်းသည့် ရေအေးပေးစက်များ လိုအပ်ပါသည်။

ရေခဲသေတ္တာများ၏ လုပ်ဆောင်ချက်များ- အအေးပေးရေကို လည်ပတ်စေခြင်းဖြင့် ရေခဲသေတ္တာများသည် လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း ထွက်လာသော အပူကို ထိရောက်စွာ ပျံ့နှံ့စေပြီး လေဆာပစ္စည်းကိရိယာများကို အကောင်းဆုံးအပူချိန်အပိုင်းအခြားအတွင်း ထိန်းသိမ်းပေးကာ လစ်သိုဂရပ်ဖီလုပ်ငန်းစဉ်တွင် တိကျမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို သေချာစေသည်။

[၁၀၀၀၀၀၀] Chiller သည် ကျောက်ပုံနှိပ်စက်များအတွက် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် အအေးပေးစနစ်များကို ပေးဆောင်သည်

TEYU CWUP စီးရီး အလွန်မြန်သော လေဆာ အအေးပေးစက်များသည် လစ်သရိုဂရပ်ဖီစက်များအတွက် တိကျပြီး တည်ငြိမ်သော အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။ အအေးပေးစက် မော်ဒယ် CWUP-20ANP သည် ±0.08°C ၏ အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုကို ရရှိပြီး တိကျသော ထုတ်လုပ်မှုအတွက် အလွန်ထိရောက်သော အအေးပေးစနစ်ကို ပေးစွမ်းသည်။

တိကျသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးလောကတွင် လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်များသည် မိုက်ခရိုဆားကစ်ပုံစံများ လွှဲပြောင်းရန်အတွက် အဓိကကိရိယာများဖြစ်သည်။ နည်းပညာတိုးတက်မှုနှင့်အတူ ခရိုပတွန်ဖလိုရိုက် လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်နှင့် အာဂွန်ဖလိုရိုက် လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်တို့သည် ၎င်းတို့၏ ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်ဖြင့် စက်မှုလုပ်ငန်းဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို မြှင့်တင်ရန် အရေးကြီးသောအင်အားစုတစ်ခု ဖြစ်လာခဲ့သည်။