Лазерные новости
Точный контроль температуры для лазерных систем и промышленных применений с 2002 года
Язык
Руководящие принципы MIIT 2024 года способствуют локализации полного процесса для производства чипов 28 нм+, что является важной технологической вехой. Ключевые достижения включают литографические машины KrF и ArF, позволяющие создавать высокоточные схемы и повышающие самодостаточность отрасли. Точный контроль температуры имеет жизненно важное значение для этих процессов, а водяные охладители TEYU CWUP обеспечивают стабильную производительность в производстве полупроводников.
В последние месяцы Министерство промышленности и информационных технологий (МИИТ) выпустило «Руководящие принципы по продвижению и применению первого (набора) крупного технического оборудования (издание 2024 года)». Это открывает путь к полной локализации процесса производства зрелых чипов для узлов выше 28 нм!
Хотя технология 28 нм не является передовой, она имеет важное значение как разделительная линия между чипами низкого и среднего уровня и среднего и высокого уровня. Помимо продвинутых ЦП, ГП и чипов ИИ, большинство чипов промышленного класса используют технологии 28 нм или выше.
Принцип работы: Достижения в области глубокой ультрафиолетовой литографии
Литографические машины KrF (фторид криптона) и ArF (фторид аргона) относятся к категории литографии глубокого ультрафиолета (DUV). Оба используют определенные длины волн света, проецируемые через оптические системы на фоторезистивный слой кремниевой пластины, перенося сложные схемы.
Литографические машины KrF: используют источник света с длиной волны 248 нм, обеспечивая разрешение ниже 110 нм, что подходит для различных процессов производства интегральных схем.
Литографические машины ArF: используют источник света с длиной волны 193 нм, обеспечивая более высокое разрешение для технологических процессов с нормами менее 65 нм, что позволяет изготавливать более тонкие схемы.
Технологическое значение: модернизация отрасли и самообеспечение
Разработка этих литографических машин знаменует собой важную веху в развитии производства полупроводников и достижении промышленной автономии:
Технические прорывы: Успешное создание литографических машин KrF и ArF свидетельствует о значительном прогрессе в технологии литографии высокого класса, обеспечивая надежную техническую поддержку производства полупроводников.
Модернизация отрасли: высокоточные литографические машины позволяют производить более сложные и высокопроизводительные интегральные схемы, стимулируя инновации по всей цепочке создания стоимости полупроводников.
Экономическая и национальная безопасность: снижая зависимость от иностранных технологий, эти машины укрепляют самодостаточность отечественной полупроводниковой промышленности, укрепляя экономическую и промышленную безопасность.
Водяной охладитель : ключ к стабильной работе литографической машины
Точный контроль температуры необходим для обеспечения качества и производительности процесса литографии. Водяные охладители, как основные компоненты систем охлаждения, играют важную роль:
Требования к охлаждению: Литографические машины чрезвычайно чувствительны к колебаниям температуры во время экспонирования, поэтому необходимы водяные охладители, обеспечивающие высокоточный и стабильный контроль температуры.
Функции охладителей: Благодаря циркуляции охлаждающей воды охладители эффективно рассеивают тепло, выделяемое во время работы, поддерживая лазерное оборудование в оптимальном температурном диапазоне и обеспечивая точность и надежность процесса литографии.
TEYU Chiller предлагает профессиональные решения по охлаждению для литографических машин
Сверхбыстрые лазерные охладители серии TEYU CWUP могут обеспечить точный и стабильный контроль температуры для литографических машин. Модель охладителя CWUP-20ANP достигает температурной стабильности ±0,08°C, обеспечивая высокоэффективное охлаждение для точного производства.
В точном мире производства полупроводников литографические машины являются основными устройствами для переноса шаблонов микросхем. С развитием технологий литографические машины на основе фторида криптона и литографические машины на основе фторида аргона стали важной силой, способствующей развитию отрасли благодаря своим превосходным характеристикам.
Мы здесь для вас, когда вы в нас нуждаетесь.
Пожалуйста, заполните форму, чтобы связаться с нами, и мы будем рады вам помочь.
Компания TEYU S&A Chiller была основана в 2002 году и имеет 23-летний опыт производства чиллеров. В настоящее время она признана пионером в области технологий охлаждения и надежным партнером в лазерной промышленности.
Авторские права © 2025 TEYU S&A Chiller - Все права защищены.
