ලේසර් පුවත්
2002 සිට ලේසර් පද්ධති සහ කාර්මික යෙදුම් සඳහා නිශ්චිත උෂ්ණත්ව පාලනය
භාෂාව
MIIT හි 2024 මාර්ගෝපදේශ, තීරණාත්මක තාක්ෂණික සන්ධිස්ථානයක් වන 28nm+ චිප් නිෂ්පාදනය සඳහා පූර්ණ-ක්‍රියාවලි දේශීයකරණය ප්‍රවර්ධනය කරයි. ප්රධාන දියුණුව අතරට KrF සහ ArF ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර ඇතුළත් වේ, ඉහළ නිරවද්‍ය පරිපථ සක්‍රීය කිරීම සහ කර්මාන්තයේ ස්වයං විශ්වාසය ඉහළ නැංවීම. TEYU CWUP ජල සිසිලන යන්ත්‍ර අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ස්ථායී කාර්ය සාධනය සහතික කරමින් මෙම ක්‍රියාවලීන් සඳහා නිරවද්‍ය උෂ්ණත්ව පාලනය ඉතා වැදගත් වේ.
මෑත මාසවලදී, කර්මාන්ත හා තොරතුරු තාක්ෂණ අමාත්‍යාංශය (MIIT) "පළමු (කට්ටල) ප්රධාන තාක්ෂණික උපකරණ (2024 සංස්කරණය) ප්‍රවර්ධනය සහ යෙදීම සඳහා මාර්ගෝපදේශ" නිකුත් කරන ලදී. මෙය 28nm ට වැඩි නෝඩ් සඳහා පරිණත චිප් නිෂ්පාදනයේ පූර්ණ-ක්‍රියාවලි දේශීයකරණයට මග පාදයි!
28nm තාක්ෂණය අති නවීන නොවන නමුත්, එය පහත්-මැද-අන්ත සහ මැද-ඉහළ-අන්ත චිප් අතර බෙදුම් රේඛාව ලෙස සැලකිය යුතු වැදගත්කමක් දරයි. උසස් CPUs, GPUs සහ AI චිප්ස් හැරුණු විට, බොහෝ කාර්මික ශ්‍රේණියේ චිප්ස් 28nm හෝ ඉහළ තාක්ෂණයන් මත රඳා පවතී.
වැඩ කිරීමේ මූලධර්මය: ගැඹුරු පාරජම්බුල ලිතෝග්රැෆි වල දියුණුව
KrF (Krypton Fluoride) සහ ArF (Argon Fluoride) ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර ගැඹුරු පාරජම්බුල (DUV) ලිතෝග්රැෆි කාණ්ඩයට අයත් වේ. දෙකම සිලිකන් වේෆරයක ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක ස්තරය මතට ප්‍රකාශ පද්ධති හරහා ප්‍රක්ෂේපණය කරන ලද නිශ්චිත ආලෝක තරංග ආයාමයන් භාවිතා කරයි, සංකීර්ණ පරිපථ රටා මාරු කරයි.
KrF ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර: විවිධ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සඳහා සුදුසු 110nm ට අඩු විභේදන ලබා ගනිමින් 248nm තරංග ආයාම ආලෝක ප්‍රභවයක් භාවිතා කරන්න.
ArF ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර: 193nm තරංග ආයාම ආලෝක ප්‍රභවයක් භාවිතා කරන්න, උප-65nm ක්‍රියාවලි තාක්ෂණයන් සඳහා ඉහළ විභේදනයක් ලබා දෙමින්, සියුම් පරිපථ නිපදවීම සක්‍රීය කරයි.
තාක්ෂණික වැදගත්කම: කර්මාන්තය වැඩිදියුණු කිරීම සහ ස්වයං-විශ්වාසය
මෙම ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර සංවර්ධනය කිරීම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය දියුණු කිරීමේ සහ කාර්මික ස්වයං පාලනයක් ලබා ගැනීමේ ප්රධාන සන්ධිස්ථානයක් සනිටුහන් කරයි:
තාක්ෂණික ජයග්‍රහණ: KrF සහ ArF ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර සාර්ථකව නිර්මාණය කිරීම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා ශක්තිමත් තාක්ෂණික සහාය ලබා දෙමින් ඉහළ මට්ටමේ ලිතෝග්රැෆි තාක්ෂණයේ සැලකිය යුතු ප්‍රගතියක් පෙන්නුම් කරයි.
කර්මාන්ත උත්ශ්‍රේණිගත කිරීම: අධි-නිරවද්‍ය ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර මඟින් වඩාත් සංකීර්ණ සහ ඉහළ ක්‍රියාකාරී ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනය කිරීමට හැකි වන අතර, සමස්ත අර්ධ සන්නායක අගය දාමය පුරා නවෝත්පාදනය මෙහෙයවයි.
ආර්ථික සහ ජාතික ආරක්‍ෂාව: විදේශීය තාක්ෂණය මත යැපීම අඩු කිරීමෙන්, මෙම යන්ත්‍ර දේශීය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ස්වයංපෝෂිතභාවය ශක්තිමත් කරයි, ආර්ථික හා කාර්මික ආරක්‍ෂාව ශක්තිමත් කරයි.
ජල චිලර් : ස්ථායී ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා යතුර
ලිතෝග්රැෆි ක්‍රියාවලියේ ගුණාත්මකභාවය සහ අස්වැන්න සහතික කිරීම සඳහා නිශ්චිත උෂ්ණත්ව පාලනය අත්‍යවශ්‍ය වේ. සිසිලන පද්ධතිවල මූලික සංරචක ලෙස ජල සිසිලන යන්ත්‍ර වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි:
සිසිලන අවශ්‍යතා: ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර නිරාවරණය වන විට උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන්ට අතිශයින් සංවේදී වන අතර, ඉතා නිවැරදි සහ ස්ථායී උෂ්ණත්ව පාලනයක් සපයන ජල සිසිලන යන්ත්‍ර අවශ්‍ය වේ.
චිලර් වල කාර්යයන්: සිසිලන ජලය සංසරණය කිරීමෙන්, සිසිලන යන්ත්‍ර ක්‍රියාත්මක වන විට ජනනය වන තාපය ඵලදායී ලෙස විසුරුවා හැරීම, ප්‍රශස්ත උෂ්ණත්ව පරාසයක් තුළ ලේසර් උපකරණ පවත්වාගෙන යාම සහ ලිතෝග්රැෆි ක්‍රියාවලියේ නිරවද්‍යතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම.
TEYU Chiller ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර සඳහා වෘත්තීය සිසිලන විසඳුම් ලබා දෙයි
TEYU CWUP ශ්‍රේණියේ අල්ට්‍රාෆාස්ට් ලේසර් චිලර් මඟින් ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර සඳහා නිරවද්‍ය සහ ස්ථායී උෂ්ණත්ව පාලනයක් සැපයිය හැකිය. CWUP-20ANP චිලර් මාදිලිය ± 0.08°C උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවයක් ලබා ගන්නා අතර, නිරවද්‍ය නිෂ්පාදන සඳහා ඉතා කාර්යක්ෂම සිසිලනය ලබා දෙයි.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ නිශ්චිත ලෝකයේ, ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍ර යනු ක්ෂුද්‍ර පරිපථ රටා මාරු කිරීම සඳහා මූලික උපාංග වේ. තාක්ෂණයේ දියුණුවත් සමඟ ක්‍රිප්ටන් ෆ්ලෝරයිඩ් ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍රය සහ ආගන් ෆ්ලෝරයිඩ් ලිතෝග්රැෆි යන්ත්‍රය ඔවුන්ගේ විශිෂ්ට ක්‍රියාකාරිත්වය සමඟ කර්මාන්තයේ දියුණුව ප්‍රවර්ධනය කිරීම සඳහා වැදගත් බලවේගයක් බවට පත්ව ඇත.
ඔබට අපව අවශ්‍ය වූ විට අපි ඔබ වෙනුවෙන් මෙහි සිටිමු.
කරුණාකර අප හා සම්බන්ධ වීමට පෝරමය සම්පූර්ණ කරන්න, අපි ඔබට උදව් කිරීමට සතුටු වන්නෙමු.
(Angali) 
TEYU S&A Chiller වසර 23ක චිලර් නිෂ්පාදන පළපුරුද්ද සමඟින් 2002 දී ආරම්භ කරන ලද අතර, දැන් සිසිලන තාක්ෂණ පුරෝගාමියෙකු සහ ලේසර් කර්මාන්තයේ විශ්වාසනීය හවුල්කරුවෙකු ලෙස පිළිගැනේ.
ප්රකාශන හිමිකම © 2025 TEYU S&A චිලර් - සියලුම හිමිකම් ඇවිරිණි.
