Iṣakoso iwọn otutu deede fun Awọn ọna lesa ati Awọn ohun elo Ile-iṣẹ Lati ọdun 2002
Ede
Awọn itọsọna MIIT's 2024 ṣe igbega isọdi ilana-kikun fun iṣelọpọ chirún 28nm +, ami-iṣẹlẹ imọ-ẹrọ pataki kan. Awọn ilọsiwaju bọtini pẹlu KrF ati awọn ẹrọ lithography ArF, ṣiṣe awọn iyika pipe-giga ati igbelaruge igbẹkẹle ara ẹni ile-iṣẹ. Iṣakoso iwọn otutu deede jẹ pataki fun awọn ilana wọnyi, pẹlu awọn chillers omi TEYU CWUP ni idaniloju iṣẹ iduroṣinṣin ni iṣelọpọ semikondokito.
Ni awọn oṣu to ṣẹṣẹ, Ile-iṣẹ ti Ile-iṣẹ ati Imọ-ẹrọ Alaye (MIIT) ti gbejade “Awọn Itọsọna fun Igbega ati Ohun elo ti Akọkọ (Ṣeto) Awọn Ohun elo Imọ-ẹrọ Pataki (2024 Edition)”. Eyi pa ọna fun isọdi ilana kikun ti iṣelọpọ chirún ogbo fun awọn apa loke 28nm!
Botilẹjẹpe imọ-ẹrọ 28nm kii ṣe gige-eti, o ṣe pataki pataki bi laini pipin laarin kekere-si-aarin-ipari ati aarin-si-opin-giga awọn eerun igi. Yato si awọn Sipiyu ti ilọsiwaju, awọn GPUs, ati awọn eerun AI, pupọ julọ awọn eerun ile-iṣẹ ti o gbẹkẹle 28nm tabi awọn imọ-ẹrọ giga julọ.
Ilana Ṣiṣẹ: Awọn ilọsiwaju ninu Lithography Ultraviolet Jin
KrF (Krypton Fluoride) ati ArF (Argon Fluoride) awọn ẹrọ lithography ṣubu labẹ ẹka ti Deep Ultraviolet (DUV) lithography. Mejeeji lo awọn iwọn gigun ina kan pato ti a ṣe akanṣe nipasẹ awọn ọna ṣiṣe opiti si Layer photoresist ti wafer ohun alumọni, gbigbe awọn ilana iyika intricate.
Awọn ẹrọ Lithography KrF: Lo orisun ina gigun 248nm, iyọrisi awọn ipinnu ni isalẹ 110nm, o dara fun ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ iyika iṣọpọ.
Awọn ẹrọ Lithography ArF: Lo orisun ina gigun ti 193nm, nfunni ni ipinnu ti o ga julọ fun awọn imọ-ẹrọ ilana iha-65nm, ti o mu ki iṣelọpọ ti awọn iyika to dara julọ.
Imọ-ẹrọ Imọ-ẹrọ: Igbesoke Ile-iṣẹ ati Igbẹkẹle Ara-ẹni
Idagbasoke ti awọn ẹrọ lithography wọnyi jẹ ami-iṣẹlẹ pataki kan ni ilọsiwaju iṣelọpọ semikondokito ati iyọrisi adase ile-iṣẹ:
Awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ: Ṣiṣẹda aṣeyọri ti KrF ati awọn ẹrọ lithography ArF ṣe afihan ilọsiwaju pataki ni imọ-ẹrọ lithography giga-giga, n pese atilẹyin imọ-ẹrọ to lagbara fun iṣelọpọ semikondokito.
Igbegasoke ile-iṣẹ: Awọn ẹrọ lithography pipe-giga jẹ ki iṣelọpọ ti eka diẹ sii ati awọn iyika iṣọpọ iṣẹ ṣiṣe giga, imudara adaṣe kọja gbogbo pq iye semikondokito.
Eto-ọrọ-aje ati Aabo Orilẹ-ede: Nipa idinku igbẹkẹle lori imọ-ẹrọ ajeji, awọn ẹrọ wọnyi teramo iraye ara ẹni ti ile-iṣẹ semikondokito inu ile, imudara eto-ọrọ aje ati aabo ile-iṣẹ.
Chiller Omi : Bọtini si Iduroṣinṣin Lithography Machine Performance
Iṣakoso iwọn otutu deede jẹ pataki fun idaniloju didara ati ikore ti ilana lithography. Awọn chillers omi, gẹgẹbi awọn paati pataki ti awọn ọna itutu agbaiye, ṣe ipa pataki kan:
Awọn ibeere itutu agbaiye: Awọn ẹrọ lithography jẹ ifarabalẹ pupọ si awọn iyipada iwọn otutu lakoko ifihan, iwulo awọn chillers omi ti o pese deede pupọ ati iṣakoso iwọn otutu iduroṣinṣin.
Awọn iṣẹ ti Chillers: Nipa ṣiṣan omi itutu agbaiye, awọn chillers ni imunadoko ni itusilẹ ooru ti ipilẹṣẹ lakoko iṣẹ, mimu ohun elo laser laarin iwọn otutu ti o dara julọ ati aridaju deede ati igbẹkẹle ninu ilana lithography.
TEYU Chiller Pese Awọn solusan Itutu Ọjọgbọn fun Awọn ẹrọ Lithography
TEYU CWUP jara ultrafast laser chillers le pese kongẹ ati iṣakoso iwọn otutu iduroṣinṣin fun awọn ẹrọ lithography. Awoṣe chiller CWUP-20ANP ṣe aṣeyọri iduroṣinṣin iwọn otutu ti ± 0.08 ° C, jiṣẹ itutu agbaiye ti o munadoko fun iṣelọpọ deede.
Ni agbaye deede ti iṣelọpọ semikondokito, awọn ẹrọ lithography jẹ awọn ẹrọ mojuto fun gbigbe awọn ilana microcircuit. Pẹlu ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ, krypton fluoride lithography ẹrọ ati argon fluoride lithography ẹrọ ti di agbara pataki lati ṣe igbelaruge idagbasoke ile-iṣẹ pẹlu iṣẹ ti o dara julọ.
A wa nibi fun ọ nigbati o nilo wa.
Jọwọ fọwọsi fọọmu naa lati kan si wa, ati pe a yoo dun lati ran ọ lọwọ.
TEYU S&A Chiller ni a da ni 2002 pẹlu awọn ọdun 23 ti iriri iṣelọpọ chiller, ati ni bayi ni a mọ bi aṣáájú-ọnà imọ-ẹrọ itutu agbaiye ati alabaṣepọ igbẹkẹle ni ile-iṣẹ laser.
Aṣẹ-lori-ara © 2025 TEYU S&A Chiller - Gbogbo Awọn Ẹtọ Wa Ni Ipamọ.
