Aktualności laserowe
Precyzyjna kontrola temperatury dla systemów laserowych i zastosowań przemysłowych od 2002 r.
Język
Wytyczne MIIT na rok 2024 promują pełną lokalizację procesu dla produkcji chipów 28 nm+, co jest kluczowym kamieniem milowym w rozwoju technologii. Kluczowe postępy obejmują maszyny litograficzne KrF i ArF, umożliwiające tworzenie obwodów o wysokiej precyzji i zwiększające niezależność branży. Precyzyjna kontrola temperatury ma kluczowe znaczenie dla tych procesów, a chłodziarki wodne TEYU CWUP zapewniają stabilną wydajność w produkcji półprzewodników.
W ostatnich miesiącach Ministerstwo Przemysłu i Technologii Informacyjnych (MIIT) wydało „Wytyczne dotyczące promocji i stosowania pierwszego (zestawu) głównego sprzętu technicznego (wydanie 2024)”. To otwiera drogę do pełnej lokalizacji procesu produkcji dojrzałych chipów dla węzłów powyżej 28 nm!
Chociaż technologia 28 nm nie jest najnowocześniejsza, ma duże znaczenie jako linia podziału między chipami z niskiej do średniej i średniej do wysokiej klasy. Oprócz zaawansowanych procesorów CPU, GPU i chipów AI, większość chipów klasy przemysłowej opiera się na technologiach 28 nm lub wyższych.
Zasada działania: Postęp w litografii głębokiego ultrafioletu
Maszyny litograficzne KrF (fluorek kryptonu) i ArF (fluorek argonu) należą do kategorii litografii głębokiego ultrafioletu (DUV). Obie wykorzystują określone długości fal światła rzutowane przez układy optyczne na warstwę fotorezystu płytki krzemowej, przenosząc skomplikowane wzory obwodów.
Maszyny litograficzne KrF: wykorzystują źródło światła o długości fali 248 nm, osiągając rozdzielczość poniżej 110 nm, odpowiednie do różnych procesów produkcji układów scalonych.
Maszyny litograficzne ArF: wykorzystują źródło światła o długości fali 193 nm, oferując wyższą rozdzielczość dla technologii procesowych poniżej 65 nm, co umożliwia produkcję drobniejszych obwodów.
Znaczenie technologiczne: modernizacja przemysłu i samodzielność
Rozwój tych maszyn litograficznych stanowi ważny kamień milowy w rozwoju produkcji półprzewodników i osiągnięciu autonomii przemysłowej:
Przełomy techniczne: Udane stworzenie maszyn litograficznych KrF i ArF świadczy o znacznym postępie w technologii litografii zaawansowanej i zapewnia solidne wsparcie techniczne dla produkcji półprzewodników.
Modernizacja branży: Wysokoprecyzyjne maszyny litograficzne umożliwiają produkcję bardziej złożonych i wydajnych układów scalonych, co napędza innowacje w całym łańcuchu wartości półprzewodników.
Bezpieczeństwo gospodarcze i narodowe: Dzięki zmniejszeniu zależności od technologii zagranicznych maszyny te wzmacniają samowystarczalność krajowego przemysłu półprzewodników, podnosząc bezpieczeństwo gospodarcze i przemysłowe.
Chłodziarka wodna : klucz do stabilnej wydajności maszyny litograficznej
Precyzyjna kontrola temperatury jest niezbędna do zapewnienia jakości i wydajności procesu litografii. Chłodziarki wodne, jako główne komponenty systemów chłodzenia, odgrywają kluczową rolę:
Wymagania dotyczące chłodzenia: Maszyny litograficzne są niezwykle wrażliwe na wahania temperatury podczas naświetlania, co wymaga stosowania chłodziarek wodnych zapewniających bardzo dokładną i stabilną kontrolę temperatury.
Funkcje chłodziarek: Chłodziarki skutecznie odprowadzają ciepło wytwarzane w trakcie pracy, zapewniając cyrkulację wody chłodzącej, co pozwala na utrzymanie urządzeń laserowych w optymalnym zakresie temperatur i gwarantuje dokładność oraz niezawodność procesu litografii.
Chiller TEYU oferuje profesjonalne rozwiązania chłodnicze dla maszyn litograficznych
Ultraszybkie chłodziarki laserowe serii TEYU CWUP mogą zapewnić precyzyjną i stabilną kontrolę temperatury dla maszyn litograficznych. Model chłodziarki CWUP-20ANP osiąga stabilność temperatury ±0,08°C, zapewniając wysoce wydajne chłodzenie dla precyzyjnej produkcji.
W precyzyjnym świecie produkcji półprzewodników maszyny litograficzne są podstawowymi urządzeniami do transferu wzorów mikroukładów. Dzięki rozwojowi technologii maszyny litograficzne z kryptonem fluorkiem i maszyny litograficzne z argonem fluorkiem stały się ważną siłą napędową rozwoju branży dzięki swojej doskonałej wydajności.
Jesteśmy tu dla Ciebie, kiedy nas potrzebujesz.
Wypełnij formularz, aby się z nami skontaktować, a my chętnie Ci pomożemy.
Firma TEYU S&A Chiller została założona w 2002 roku, mając 23-letnie doświadczenie w produkcji agregatów chłodniczych. Obecnie jest uznawana za pioniera technologii chłodzenia i niezawodnego partnera w branży laserowej.
Copyright © 2025 TEYU S&A Chiller - Wszelkie prawa zastrzeżone.
