Warta Anyar: MIIT Ngapromosikeun Mesin Litografi DUV Domestik kalayan Akurasi Overlay ≤8nm

Dina sababaraha bulan ka pengker, Kementerian Perindustrian sareng Téknologi Inpormasi (MIIT) ngaluarkeun "Pedoman pikeun Promosi sareng Aplikasi Peralatan Téknis Utama (Set) Kahiji (Édisi 2024)". Ieu muka jalan pikeun lokalisasi prosés lengkep tina manufaktur chip dewasa pikeun simpul di luhur 28nm!

Sanaos téknologi 28nm sanés téknologi anu canggih, éta ngagaduhan pentingna anu penting salaku garis pamisah antara chip kelas handap dugi ka menengah sareng kelas menengah dugi ka luhur. Salian ti CPU, GPU, sareng chip AI anu canggih, kaseueuran chip kelas industri ngandelkeun téknologi 28nm atanapi anu langkung luhur.

Prinsip Kerja: Kamajuan dina Litografi Ultraviolet Jero

Mesin litografi KrF (Krypton Fluorida) sareng ArF (Argon Fluorida) kalebet kana kategori litografi Deep Ultraviolet (DUV). Duanana ngamangpaatkeun panjang gelombang cahaya spésifik anu diproyeksikan ngaliwatan sistem optik kana lapisan photoresist tina wafer silikon, mindahkeun pola sirkuit anu rumit.

Mesin Litografi KrF: Anggo sumber cahaya panjang gelombang 248nm, pikeun ngahontal résolusi di handap 110nm, cocog pikeun rupa-rupa prosés manufaktur sirkuit terpadu.

Mesin Litografi ArF: Nganggo sumber cahaya panjang gelombang 193nm, anu nawiskeun résolusi anu langkung luhur pikeun téknologi prosés sub-65nm, anu ngamungkinkeun fabrikasi sirkuit anu langkung saé.

Pentingna Téknologi: Peningkatan Industri sareng Kamandirian

Kamekaran mesin litografi ieu nandakeun tonggak penting dina ngamajukeun manufaktur semikonduktor sareng ngahontal otonomi industri:

Kamekaran Téknis: Kasuksésan nyiptakeun mesin litografi KrF sareng ArF nunjukkeun kamajuan anu signifikan dina téknologi litografi kelas luhur, nyayogikeun dukungan téknis anu kuat pikeun manufaktur semikonduktor.

Peningkatan Industri: Mesin litografi presisi tinggi ngamungkinkeun produksi sirkuit terpadu anu langkung rumit sareng berkinerja tinggi, ngadorong inovasi di sakumna ranté nilai semikonduktor.

Kaamanan Ékonomi sareng Nasional: Ku cara ngirangan katergantungan kana téknologi asing, mesin-mesin ieu nguatkeun swasembada industri semikonduktor domestik, nguatkeun kaamanan ékonomi sareng industri.

Pendingin Cai : Konci pikeun Kinerja Mesin Litografi anu Stabil

Kontrol suhu anu tepat penting pisan pikeun mastikeun kualitas sareng hasil tina prosés litografi. Pendingin cai, salaku komponén inti sistem pendingin, maénkeun peran penting:

Sarat Pendinginan: Mesin litografi sénsitip pisan kana fluktuasi suhu nalika kakeunaan, sahingga meryogikeun pendingin cai anu nyayogikeun kontrol suhu anu akurat pisan sareng stabil.

Fungsi Chiller: Ku cara ngiderkeun cai pendingin, chiller sacara efektif ngaleungitkeun panas anu dihasilkeun nalika operasi, ngajaga peralatan laser dina kisaran suhu anu optimal sareng mastikeun akurasi sareng reliabilitas dina prosés litografi.

TEYU Chiller Nawiskeun Solusi Pendinginan Profesional pikeun Mesin Litografi

TEYU Pendingin laser ultrafast séri CWUP tiasa nyayogikeun kontrol suhu anu tepat sareng stabil pikeun mesin litografi. Modél pendingin CWUP-20ANP ngahontal stabilitas suhu ±0,08°C, nganteurkeun pendinginan anu efisien pisan pikeun manufaktur anu presisi.

Dina dunya manufaktur semikonduktor anu tepat, mesin litografi mangrupikeun alat inti pikeun mindahkeun pola microcircuit. Kalayan kamajuan téknologi, mesin litografi krypton fluoride sareng mesin litografi argon fluoride parantos janten kakuatan anu penting pikeun ngamajukeun kamekaran industri kalayan kinerja anu saé.