Лазерні новини
Точний контроль температури для лазерних систем та промислового застосування з 2002 року
Мова
Рекомендації MIIT 2024 сприяють локалізації повного процесу для виробництва чіпів за технологією 28 нм+, що є важливою технологічною віхою. Основні досягнення включають машини для літографії KrF та ArF, які створюють високоточні схеми та підвищують самостійність галузі. Точний контроль температури є життєво важливим для цих процесів, а охолоджувачі води TEYU CWUP забезпечують стабільну роботу у виробництві напівпровідників.
В останні місяці Міністерство промисловості та інформаційних технологій (MIIT) випустило «Керівні принципи просування та застосування першого (набору) основного технічного обладнання (видання 2024)». Це відкриває шлях для повної локалізації процесу виробництва зрілих мікросхем для вузлів вище 28 нм!
Хоча 28-нанометрова технологія не є передовою, вона має важливе значення як лінія розмежування між чіпами низького та середнього класу та середнього та високого рівня. Окрім передових процесорів, графічних процесорів і чіпів штучного інтелекту, більшість чіпів промислового класу покладаються на технології 28 нм або новіші.
Принцип роботи: досягнення в глибокій ультрафіолетовій літографії
Машини для літографії KrF (фторид криптону) та ArF (фторид аргону) належать до категорії літографії з глибоким ультрафіолетом (DUV). Обидва використовують світлові хвилі певної довжини, що проектуються оптичними системами на шар фоторезисту кремнієвої пластини, передаючи складні схеми схеми.
Машини для літографії KrF: використовуйте джерело світла з довжиною хвилі 248 нм, що забезпечує роздільну здатність нижче 110 нм, що підходить для різних процесів виробництва інтегральних схем.
Машини для літографії ArF. Використовуйте джерело світла з довжиною хвилі 193 нм, що забезпечує вищу роздільну здатність для технологічних процесів нижче 65 нм, що дозволяє виготовляти більш тонкі схеми.
Технологічне значення: модернізація промисловості та самозабезпечення
Розробка цих літографічних машин є важливою віхою у розвитку виробництва напівпровідників і досягненні промислової автономії:
Технічний прорив: Успішне створення літографічних машин KrF і ArF свідчить про значний прогрес у високоякісних літографічних технологіях, що забезпечує надійну технічну підтримку для виробництва напівпровідників.
Модернізація галузі: високоточні літографічні машини дозволяють виготовляти більш складні та високопродуктивні інтегральні схеми, стимулюючи інновації в усьому ланцюжку створення вартості напівпровідників.
Економічна та національна безпека: зменшуючи залежність від іноземних технологій, ці машини зміцнюють самодостатність вітчизняної напівпровідникової промисловості, зміцнюючи економічну та промислову безпеку.
Охолоджувач води : ключ до стабільної роботи літографічної машини
Точний контроль температури важливий для забезпечення якості та продуктивності процесу літографії. Чиллери, як основні компоненти систем охолодження, відіграють важливу роль:
Вимоги до охолодження. Літографічні машини надзвичайно чутливі до коливань температури під час експонування, тому потрібні охолоджувачі води, які забезпечують високоточний і стабільний контроль температури.
Функції охолоджувачів. Завдяки циркуляції охолоджувальної води охолоджувачі ефективно розсіюють тепло, що утворюється під час роботи, підтримуючи лазерне обладнання в оптимальному діапазоні температур і забезпечуючи точність і надійність процесу літографії.
TEYU Chiller пропонує професійні рішення для охолодження літографічних машин
Надшвидкісні лазерні охолоджувачі серії TEYU CWUP можуть забезпечити точний і стабільний контроль температури для літографічних машин. Чиллер моделі CWUP-20ANP забезпечує температурну стабільність ±0,08°C, забезпечуючи високоефективне охолодження для точного виробництва.
У точному світі виробництва напівпровідників літографічні машини є основними пристроями для передачі шаблонів мікросхем. З розвитком технологій машини для літографії з фторидом криптону та машини для літографії з фторидом аргону стали важливою силою для сприяння розвитку галузі завдяки своїй чудовій продуктивності.
Ми тут для вас, коли ми вам потрібні.
Будь ласка, заповніть форму, щоб зв'язатися з нами, і ми будемо раді вам допомогти.
Компанія TEYU S&A Chiller була заснована у 2002 році з 23-річним досвідом виробництва чилерів, і зараз визнана піонером технологій охолодження та надійним партнером у лазерній галузі.
Авторське право © 2025 TEYU S&A Chiller - Усі права захищено.
